[发明专利]用于扫描超短脉冲光的光束的系统和方法有效
| 申请号： | 201380074609.7 | 申请日： | 2013-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN105143959B | 公开（公告）日： | 2018-03-06 |
| 发明（设计）人： | K·沃格勒;C·格舍博特;C·多尼斯基 | 申请（专利权）人： | 视乐有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/10 | 分类号： | G02B26/10;A61F9/008;G02B27/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 杜文树 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种扫描光学系统(10)的实施方案包括光源(22)，其提供超短脉冲持续时间的脉冲光的光束(38)；偏转器(26)，其用于透过扫描角度使所述光束偏转；透镜系统，其包括用于使所述偏转的光束聚焦的聚焦物镜(30)；色散补偿装置(25)，其用于减小通过所述透镜系统的所述光束的脉冲的色散相关失真，所述色散补偿装置包括可变形色散镜(42)和用于所述镜的致动器装置(44)；和控制器(18)，其用于控制所述致动器装置以根据所述扫描角度改变所述镜的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 扫描 超短 脉冲 光束 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种扫描光学系统(10)，其包括：光源(22)，其提供超短脉冲持续时间的脉冲光的光束(38)；偏转器，其用于通过扫描角度使所述光束偏转；透镜系统，其包括用于使所述偏转的光束聚焦的聚焦物镜(30)；色散补偿装置(25)，其用于减小由所述透镜系统引起的所述光束的脉冲的色散相关失真，所述色散补偿装置包括可变形色散镜和用于所述可变形色散镜的致动器装置(44)；和控制器(18)，其用于控制所述致动器装置以根据所述扫描角度改变所述可变形色散镜的形状以至少部分地对所述聚焦物镜的群延迟的空间分布比对不同扫描角度的变动进行补偿。
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