[发明专利]用于扫描超短脉冲光的光束的系统和方法

权利要求书

1.一种扫描光学系统(10)，其包括：

光源(22)，其提供超短脉冲持续时间的脉冲光的光束(38)；

偏转器，其用于通过扫描角度使所述光束偏转；

透镜系统，其包括用于使所述偏转的光束聚焦的聚焦物镜(30)；

色散补偿装置(25)，其用于减小由所述透镜系统引起的所述光束的脉冲的色散相关失真，所述色散补偿装置包括可变形色散镜和用于所述可变形色散镜的致动器装置(44)；和

控制器(18)，其用于控制所述致动器装置以根据所述扫描角度改变所述可变形色散镜的形状以至少部分地对所述聚焦物镜的群延迟的空间分布比对不同扫描角度的变动进行补偿。

2.根据权利要求1所述的光学系统，其中所述可变形色散镜具有提供伴随所述可变形色散镜的反射表面上的位置变化的色散特性的多层结构。

3.根据权利要求2所述的光学系统，其中所述多层结构被配置来跨所述反射表面引进以下项中的至少一个：非一致群延迟、非一致群延迟色散和非一致三阶色散。

4.根据权利要求2或3所述的光学系统，其中所述色散补偿装置(25)还包括大块补偿器(46)，所述大块补偿器具有用于对由所述透镜系统引进的群延迟和群延迟色散中的至少一个的大块进行补偿的空间一致色散特性。

5.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的光学系统，其中所述光源(22)为激光源且所述光束具有适于在人眼组织中创建切口的中心波长。

6.根据权利要求1到3中任一权利要求所述的光学系统，其中如由所述控制器指示的所述可变形色散镜的所述形状的变化被设计来适应所述光学系统的群延迟的空间分布的变动，所述变动伴随不同扫描角度发生。

7.一种扫描光学系统(10)，其包括：

光源(22)，其提供超短脉冲持续时间的脉冲光的光束(38)；

偏转器，其用于通过扫描角度使所述光束偏转；

透镜系统，其包括用于使所述偏转的光束聚焦的聚焦物镜(30)；

可变形镜；

致动器装置(44)，其用于所述可变形镜；和

控制器(18)，其用于控制所述致动器装置以根据所述扫描角度改变所述可变形镜的形状以至少部分地对所述聚焦物镜的群延迟的空间分布比对不同扫描角度的变动进行补偿。

8.根据权利要求7所述的扫描光学系统，其中所述可变形镜是非色散的。

9.根据权利要求8所述的扫描光学系统，其包括色散补偿装置，所述色散补偿装置用于减小由所述透镜系统引起的所述光束的脉冲的色散相关失真。

10.根据权利要求7到9中任一权利要求所述的扫描光学系统，其中如由所述控制器指示的所述可变形镜的所述形状的变化被设计来适应所述光学系统的群延迟的空间分布的变动，所述变动伴随不同扫描角度发生。

11.一种扫描方法，其包括：

提供超短脉冲持续时间的脉冲光的光束；

通过扫描角度使所述光束偏转；

借助于聚焦物镜使所述偏转的光束聚焦；

提供可变形镜；和

根据所述扫描角度控制所述可变形镜的形状以至少部分地对所述聚焦物镜的群延迟的空间分布比对不同扫描角度的变动进行补偿。