[发明专利]有机薄膜形成装置及有机薄膜形成方法和利用其的有机薄膜元件的制造方法

摘要

本发明涉及一种有机薄膜形成装置及有机薄膜形成方法和利用其的有机薄膜元件的制造方法，制造OLED或有机太阳能电池时，在基板能够形成有机发光层(光活性层)、电子输送层之中至少一个。本发明的有机薄膜形成装置包括：喷涂单元，其将溶液喷射于基板的表面，从而形成有机薄膜；高温气体喷射单元，其对从喷涂单元喷射出并为飞行中的微液滴喷射高温气体，从而使包含于微液滴的溶剂挥发，从而在溶液从喷嘴喷射出并为飞行中时，喷射高温气体使溶剂挥发，因此能够提高涂覆于基板的有机薄膜的表面粗糙度的精密度，并且无需用于使溶剂挥发的额外的热处理装置，从而能够缩短制造工艺的同时能够削减制造费用。

主权项

一种有机薄膜形成装置，其特征在于，包括：喷涂单元，其将溶液喷射于基板，从而形成有机薄膜；以及高温气体喷射单元，其对从所述喷涂单元喷射出并为飞行中的微液滴喷射高温气体，从而使包含于微液滴的溶剂挥发。