[发明专利]有机薄膜形成装置及有机薄膜形成方法和利用其的有机薄膜元件的制造方法

权利要求书

1.一种有机薄膜形成装置，其特征在于，包括：

喷涂单元，其将溶液喷射于基板，从而形成有机薄膜；以及

高温气体喷射单元，其对从所述喷涂单元喷射出并为飞行中的微液滴喷射高温气体，从而使包含于微液滴的溶剂挥发。

2.根据权利要求1所述的有机薄膜形成装置，其特征在于，所述喷涂单元包括：

供给部，其与存储溶液的储罐连接并供给溶液；

喷嘴，其安装至所述供给部的下侧，并将溶液喷射于基板的表面，

所述喷涂单元使用空气喷涂方式、电喷涂方式及兼具所述空气喷涂方式和电喷涂方式的混合式喷涂方式之中某一个方式。

3.根据权利要求2所述的有机薄膜形成装置，其特征在于，所述高温气体喷射单元包括：

壳，其设置于喷嘴的外面且具备高温气体流入的空间部，并且在下侧形成喷射高温气体的喷射通道；

管，其连接至所述壳的一侧，从而使得高温气体通过；

加热单元，其设置于所述管，从而对通过管来供给的气体进行加热。

4.根据权利要求3所述的有机薄膜形成装置，其特征在于，

所述空间部形成于壳的内面和喷嘴的外面之间，以便流入至所述壳的空间部的高温气体能够对喷嘴加热。

5.根据权利要求3所述的有机薄膜形成装置，其特征在于，

喷嘴的末端形成为通过形成于所述壳的下侧的喷射通道的中央。

6.根据权利要求1所述的有机薄膜形成装置，其特征在于，进一步包括：

控制部，其对所述高温气体喷射单元的气体的压力和温度进行控制，

所述控制部包括：输入部，其由使用者操作并输入温度和压力；

温度传感器，其测量气体的温度；压力传感器，其测量气体的压力；

控制单元，其基于从所述输入部、温度传感器及压力传感器所输入的数据，从而控制加热单元和压力调节单元，所述加热单元对气体进行加热，所述压力调节单元对气体的压力进行调节。

7.一种有机薄膜元件的制造方法，其特征在于，包括：

准备形成有三维曲线且透明且具有柔软性的基板的步骤；

在所述基板形成阳极电极的步骤；

在所述阳极电极上形成空穴输送层的步骤；

在所述空穴输送层上形成有机发光层或者光活性层的步骤；

在所述有机发光层或者光活性层上形成电子输送层的步骤；

在所述电子输送层上形成电子注入层的步骤；

在所述电子注入层上形成阴极电极的步骤。

8.根据权利要求7所述的有机薄膜元件的制造方法，其特征在于，形成所述空穴输送层的步骤和形成有机发光层或光活性层的步骤之中至少一个步骤包括：

根据包含于溶液的溶剂的种类设定气体的压力和温度的步骤；

从喷涂单元喷射所述溶液的步骤；

对从所述喷涂单元喷射出并为飞行中的微液滴喷射高温气体，从而使包含于微液滴的溶剂挥发的步骤；以及

所述微液滴层叠于基板的表面，从而形成有机薄膜的步骤。

9.根据权利要求8所述的有机薄膜元件的制造方法，其特征在于，

所述气体压力为0.06～0.12Mpa,气体温度为80～150℃。

10.根据权利要求8所述的有机薄膜元件的制造方法，其特征在于，

将所述溶液喷射于基板后，进一步包括对基板进行加热，从而使残留于微液滴的溶剂挥发的步骤，所述微液滴层叠于基板，

所述基板的加热温度为70～190℃。

11.一种有机薄膜形成方法，其特征在于，包括：

准备喷射溶液的步骤；

根据包含于所述溶液的溶剂的种类设定气体的压力和温度的步骤；

从喷涂单元喷射所述溶液的步骤；

对从所述喷涂单元喷射出并为飞行中的微液滴喷射高温气体，从而使包含于微液滴的溶剂挥发的步骤；以及

所述微液滴层叠于基板的表面，从而形成有机薄膜的步骤。

12.根据权利要求11所述的有机薄膜形成方法，其特征在于，

所述气体压力为0.06～0.12Mpa，气体温度为80～150℃，

将所述溶液喷射于基板后，进一步包括对基板进行加热，从而使残留于微液滴的溶剂挥发的步骤，所述微液滴层叠于基板，

所述基板的加热温度为70～190℃。