[发明专利]抛光垫无效
| 申请号： | 201380059902.6 | 申请日： | 2013-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN104812528A | 公开（公告）日： | 2015-07-29 |
| 发明（设计）人： | 中村贤治 | 申请（专利权）人： | 东洋橡胶工业株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/013 | 分类号： | B24B37/013;B24B37/22;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 钟守期;侯婧 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明目的在于提供一种在抛光对象物表面难以产生划痕的抛光垫。本发明的抛光垫具备抛光层，所述抛光层具有抛光区域及光透过区域，所述抛光垫特征在于，所述光透过区域包括位于垫表面侧的表层和在表层的下方层叠的至少1层软质层，其中软质层比表层硬度低。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 | ||
【主权项】：
一种抛光垫，其具备抛光层，所述抛光层具有抛光区域及光透过区域，所述抛光垫特征在于，所述光透过区域包括位于垫表面侧的表层和在表层的下方层叠的至少1层软质层，其中，软质层比表层硬度低。
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