[发明专利]聚吡咯烷酮抛光组合物和方法有效
| 申请号： | 201380057978.5 | 申请日： | 2013-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN104781365A | 公开（公告）日： | 2015-07-15 |
| 发明（设计）人： | N.纳古布桑特 | 申请（专利权）人： | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 宋莉;王华芹 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供抛光组合物，其包含吡咯烷酮聚合物、氨基膦酸、四烷基铵盐和水，其中所述组合物具有7至11.7的pH。本发明进一步提供使用这样的抛光组合物抛光基材、尤其是含硅基材的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 吡咯烷酮 抛光 组合 方法 | ||
【主权项】：
抛光组合物，其包含：(a)0.01重量％至0.1重量％的吡咯烷酮聚合物；(b)0.05重量％至2重量％的氨基膦酸；(c)0.01重量％至5重量％的四烷基铵盐；和(d)水，其中所述组合物具有7至11.7的pH。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于嘉柏微电子材料股份公司，未经嘉柏微电子材料股份公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380057978.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种双头钉
- 下一篇：一种可自动调整锚固深度的塑料射钉栓
