[发明专利]极紫外光源的靶材料供应装置有效
| 申请号： | 201380053831.9 | 申请日： | 2013-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN104885161B | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | S·德地亚;G·O·瓦斯恩冦;P·M·包姆加特;N·R·鲍尔林 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G21K5/00 | 分类号： | G21K5/00;G01J1/04;H05G2/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于极紫外(EUV)光源的靶材料供应装置，包括管，该管包括第一端、第二端、以及限定在第一端和第二端之间的侧壁。管的外表面的至少一部分包括电绝缘材料，第一端接收增压的靶材料，且第二端限定一孔口，增压的靶材料通过该孔口流过以产生靶材料液滴流。所述靶材料供应装置还包括位于管的外表面上的导电涂层。该涂层被配置为将管的外表面电连接至地从而减少外表面上的表面电荷。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 光源 材料 供应 装置 | ||
【主权项】：
一种极紫外(EUV)光源的靶材料供应装置，所述装置包括：管，所述管包括第一端、第二端、以及限定在所述第一端和所述第二端之间的侧壁，其中所述管的外表面的至少一部分包括电绝缘材料，所述第一端接收增压的靶材料，且所述第二端限定了孔口，所述增压的靶材料通过所述孔口来产生靶材料液滴流；以及位于所述管的限定所述孔口的所述第二端上的导电涂层，所述涂层被配置为将所述管的外表面电连接到地，藉此减少外表面上的表面电荷。
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