[发明专利]图案的检查、测量装置及程序在审
| 申请号： | 201380052997.9 | 申请日： | 2013-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN104718428A | 公开（公告）日： | 2015-06-17 |
| 发明（设计）人： | 皆川刚;广井高志;吉田健之;二宫拓;山本琢磨;新藤博之;福永文彦;丰田康隆;筱田伸一 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | G01B15/04 | 分类号： | G01B15/04;G01N21/956;G01N23/225;G06T1/00;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;李家浩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种图案的检查、测量装置，对检查或测量对象图案进行拍摄，使用从所得到的图像数据提取的边缘位置来进行检查或测量，能够降低噪声等的影响，提高检查或测量结果的可靠性。为此，图案的检查、测量装置的特征在于，对检查或测量对象图案进行拍摄，从所得到的图像数据利用边缘提取参数来提取边缘位置，利用该边缘位置来进行检查或测量对象图案的检查或测量，使用表示作为检查或测量的基准的形状的基准图案和所述图像数据来生成所述边缘提取参数。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 检查 测量 装置 程序 | ||
【主权项】：
一种图案的检查、测量装置，其对检查或测量对象图案进行拍摄，从所得到的图像数据采用边缘提取参数来提取出边缘位置，利用该边缘位置对所述检查或测量对象图案进行检查或测量，其特征在于，具有边缘提取参数生成部，该边缘提取参数生成部利用作为所述检查或测量的基准的基准图案和所述图像数据，生成所述边缘提取参数。
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