[发明专利]图案的检查、测量装置及程序

权利要求书

1.一种图案的检查、测量装置，其对检查或测量对象图案进行拍摄，从所得到的图像数据采用边缘提取参数来提取出边缘位置，利用该边缘位置对所述检查或测量对象图案进行检查或测量，

其特征在于，具有边缘提取参数生成部，该边缘提取参数生成部利用作为所述检查或测量的基准的基准图案和所述图像数据，生成所述边缘提取参数。

2.根据权利要求1所述的图案的检查、测量装置，其特征在于，

所述基准图案构成为具有多个基准边缘，所述基准边缘是在提取所述边缘时作为基准的点，

所述边缘提取参数生成部生成分别与所述基准边缘相对应的边缘提取参数。

3.根据权利要求2所述的图案的检查、测量装置，其特征在于，

所述基准边缘构成为属于反映了作为所述检查或测量对象图案的形状的图案图形的任一个，

所述边缘提取参数生成部，以使得与属于同一图案图形的各个基准边缘相对应的边缘提取参数彼此相同的方式，生成边缘提取参数。

4.根据权利要求2所述的图案的检查、测量装置，其特征在于，

所述边缘提取参数生成部，以使得与各个基准边缘相对应的边缘提取参数彼此相同的方式，生成边缘提取参数。

5.根据权利要求1所述的图案的检查、测量装置，其特征在于，具有：

边缘提取参数输出部，其输出所述边缘提取参数生成部所生成的边缘提取参数，或与所述边缘提取参数生成部所生成的边缘提取参数相关的统计量。

6.根据权利要求1所述的图案的检查、测量装置，其特征在于，具有：

边缘提取参数检查部，其以所述边缘提取参数生成部所生成的边缘提取参数作为评价指标，对所述检查或测量对象图案进行检查。

7.根据权利要求1所述的图案的检查、测量装置，其特征在于，具有：

范围输入部，其输入边缘提取参数所能够取值的最小值和最大值，

所述边缘提取参数生成部生成所述边缘提取参数，使得所述边缘提取参数为所述最小值以上且所述最大值以下的值。

8.根据权利要求1所述的图案的检查、测量装置，其特征在于，具有：

最大偏差输入部，其输入相对于边缘提取参数的基准值的偏差的最大值，

所述边缘提取参数生成部生成所述边缘提取参数，使得所述边缘提取参数与所述基准值之间的差的绝对值为所述最大偏差以下。

9.根据权利要求1所述的图案的检查、测量装置，其特征在于，具有：

基准图案生成部，其利用预先给出的第二边缘提取参数，基于从所述图像数据提取的边缘位置来生成所述基准图案。

10.根据权利要求1所述的图案的检查、测量装置，其特征在于，具有：

基准图案生成部，其基于从第二图像数据提取的边缘位置来生成基准图案，其中，所述第二图像数据由对第二检查或测量对象图案进行拍摄而获得，所述第二检查或测量对象图案与所述检查或测量对象图案的制造工序不同。

11.根据权利要求1所述的图案的检查、测量装置，其特征在于，具有：

基准图案生成部，其基于从第二图像数据提取的边缘位置来生成基准图案，其中，所述第二图像数据由对第二检查或测量对象图案进行拍摄而获得，所述第二检查或测量对象图案与所述检查或测量对象图案的曝光条件不同。

12.根据权利要求1所述的图案的检查、测量装置，其特征在于，

利用所述边缘的位置与对应于该位置的所述基准图案上的位置之间的距离信息来进行所述检查或测量。

13.根据权利要求1所述的图案的检查、测量装置，其特征在于，

成为所述检查或测量的基准的基准图案构成为具有多个基准边缘，所述基准边缘是在提取所述边缘时作为基准的点，

所述图案的检查、测量装置具有轮廓线修复部，其对于所述基准边缘中不存在与该基准边缘相对应的所述边缘的部分，实施利用由使用所述图像数据所求得的轮廓线来求得所述检查或测量所使用的边缘的处理。