[发明专利]用于选择性气体注入和抽取的设备

摘要

本文提供在基板处理腔室中使用的用于选择性气体注入和抽取的方法和设备。在一些实施方式中，气体注入和抽取设备包括：板，所述板具有穿过板的厚度的多个孔，多个孔中的每一个孔具有孔壁；多个管，每一个管部分地设置在多个孔中的一个孔内，其中每一个管的设置部分与设置所述管的孔的孔壁的至少一部分间隔开，从而在孔壁的至少一部分与管的设置部分之间形成空隙；气源，所述气源流体地耦接至每一个管；和真空源，所述真空源流体地耦接至每一个空隙。

主权项

1.一种用于在处理腔室中使用的气体注入和抽取设备，所述气体注入和抽取设备包括：板，所述板具有穿过所述板的厚度的多个孔，所述多个孔中的每一个孔具有孔壁；多个管，每一个管部分地设置在所述多个孔中的一个孔内，其中所述管中的每一个管的设置部分与设置所述管的所述孔的所述孔壁的至少一部分间隔开，从而在所述孔壁的至少一部分与所述管的所述设置部分之间形成空隙；气源，所述气源流体地耦接至所述管中的每一个管；和真空源，所述真空源流体地耦接至所述空隙的每一个空隙，其中，当使用时，所述气体注入和抽取设备以所述板与基板支撑件的支撑表面相对设置在所述处理腔室内，所述基板支撑件经配置以绕所述支撑表面上的一点旋转。