[发明专利]用于提高叠层过程的控制和效率的方法、材料和设备有效

专利信息
申请号: 201380048356.6 申请日: 2013-09-12
公开(公告)号: CN104704145B 公开(公告)日: 2017-06-09
发明(设计)人: 托马斯·沃克曼;J·华莱士·帕斯;本杰明·王;凯文·克罗格曼;塞格林德·施密德;梅利莎·法迪;托马斯·方;威廉·E·贾维斯 申请(专利权)人: 伊士曼化工公司
主分类号: C23C28/00 分类号: C23C28/00
代理公司: 北京万慧达知识产权代理有限公司11111 代理人: 白华胜,段晓玲
地址: 美国田*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 本公开文本提供了用于以高度的效率和控制来制造多层涂层的材料、设备和方法。在一些方面,例如,描述的涂层具有纳米颗粒和聚合电解质的多个层,其中纳米颗粒形成紧密堆积的单层。单层之间的界面可以包含聚合电解质材料。该单层和界面的一方面或多方面是可控的。
搜索关键词: 用于 提高 过程 控制 效率 方法 材料 设备
【主权项】:
一种用于快速和高转换效率的沉积过程的方法,所述沉积过程形成用于叠层组合的半个双层,所述方法包括:(a)形成沉积溶液层,所述沉积溶液包含在表面上具有厚度(d沉积)的沉积材料,其中d沉积设为:CS/(CB·eff)≥d沉积≥(CS/CB)(b)保持沉积溶液和表面之间接触的最小等待时间(t沉积‑最小),其中在t沉积‑最小期间形成半个双层,且其中t沉积‑最小为:t沉积‑最小≥CS2/(CB2·D)其中:CS是期望的在表面上沉积材料的二维浓度;CB是沉积溶液中沉积材料的体积浓度;d沉积是在表面上沉积溶液层的厚度;eff是沉积材料的转换效率,且eff大于0.03;且D是沉积溶液中沉积材料的分散系数;t沉积‑最小是最小等待时间,且t沉积‑最小小于10秒;且形成的半个双层的厚度小于或等于沉积材料的单层的厚度。
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