[发明专利]形成用于光伏电池的触头的方法

摘要

本公开内容提供了一种形成用于光伏(PV)电池的触头的方法。所述方法包括提供半导体材料的基板的步骤。所述基板具有第一区域，所述第一区域具有第一掺杂特性并且位于第一表面部分。所述方法还包括在基板的包括第一表面部分的表面上沉积钝化层。此外，所述方法包括在钝化层上沉积导电层，使得钝化层的材料夹在第一区域与导电层之间。此外，所述方法包括以使得局部地诱发被夹的钝化层材料的电介质击穿的方式在第一区域与导电层之间施加电场。第一区域具有掺杂特性，并且实施所述方法使得钝化层在第一区域处的电阻减小并且形成电触头。

主权项

一种形成用于光伏电池的触头的方法，所述方法包括以下步骤：提供半导体材料的基板，所述基板具有多个第一区域和多个第二区域，所述第一区域具有第一掺杂浓度，所述第二区域与所述第一区域相邻并且具有比所述第一区域的第一掺杂浓度低的第二掺杂浓度，所述第一区域和所述第二区域具有相同的极性并且位于所述基板的表面部分；在所述表面部分上沉积钝化层；在所述钝化层上形成包括多个导电区域的图案化的导电层，使得所述钝化层的材料与所述基板和所述导电层的导电区域接触；每个导电区域覆盖所述第一区域中的至少一个并且比所述第一区域中的所述至少一个宽；以及在所述第一区域中的一个或多个与相应的导电区域之间施加电场，以这样的方式使得诱发与所述第一区域中的一个或多个和相应的导电区域接触的钝化层材料的电介质击穿，同时保持与所述第二区域和相应的导电区域接触的钝化层材料的电介质特性；其中，实施所述方法使得在所述钝化层中选择性地形成减小的电阻的部分，以有助于电流在所述第一区域和所述导电层的相应的部分之间流动，而不管所述第一区域与所述导电层的相应的部分之间的对准精度如何。