[发明专利]形成用于光伏电池的触头的方法

权利要求书

1.一种形成用于光伏电池的触头的方法，所述方法包括以下步骤：

提供半导体材料的基板，所述基板具有多个第一区域和多个第二区域，所述第一区域具有第一掺杂浓度，所述第二区域与所述第一区域相邻并且具有比所述第一区域的第一掺杂浓度低的第二掺杂浓度，所述第一区域和所述第二区域具有相同的极性并且位于所述基板的表面部分；

在所述表面部分上沉积钝化层；

在所述钝化层上形成包括多个导电区域的图案化的导电层，使得所述钝化层的材料与所述基板和所述导电层的导电区域接触；每个导电区域覆盖所述第一区域中的至少一个并且比所述第一区域中的所述至少一个宽；以及

在所述第一区域中的一个或多个与相应的导电区域之间施加电场，以这样的方式使得诱发与所述第一区域中的一个或多个和相应的导电区域接触的钝化层材料的电介质击穿，同时保持与所述第二区域和相应的导电区域接触的钝化层材料的电介质特性；

其中，实施所述方法使得在所述钝化层中选择性地形成减小的电阻的部分，以有助于电流在所述第一区域和所述导电层的相应的部分之间流动，而不管所述第一区域与所述导电层的相应的部分之间的对准精度如何。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，实施所述方法使得与减小的电阻的部分相邻的钝化层材料的钝化特性基本上不受影响。

3.根据权利要求1所述的方法，其中，实施所述方法使得在所述光伏电池的背面上形成选择性的电触头。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，提供所述基板的步骤包括形成所述第一区域。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，使用热扩散形成所述第一区域。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，使用激光掺杂形成所述第一区域。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，形成所述第一区域包括：

针对所述至少一个第一表面部分沉积起到掺杂剂源作用的层；以及

将激光束选择性地导向所述第一表面部分，使得掺杂剂材料扩散到所述基板中并且由此形成所述第一区域。

8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述钝化层包括非晶硅。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，基于所述第一区域的掺杂浓度来选择所述导电层的材料。

10.一种形成光伏电池的方法，包括使用根据权利要求1至9中的任一项所述的方法形成用于PV电池的触头。

11.一种通过权利要求10所述的方法形成的光伏电池。