[发明专利]观察装置以及光轴调整方法

摘要

以往的带电粒子线装置均为专用于大气压下或者与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察而被制造的装置，不存在能够使用通常的高真空型带电粒子显微镜而简便地进行大气压或者与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察的装置。并且，在以往的方法中，无法相对于载置于上述的氛围下的试样的相同的位置同时地进行基于带电粒子线与光的观察。因此，在本发明中，具备：将一次带电粒子线照射至试样的带电粒子光学镜筒、对带电粒子光学镜筒的内部进行抽真空的真空泵、配置为对载置有试样的空间与带电粒子光学镜筒进行隔离并供一次带电粒子线透射或者通过的能够装卸的隔膜、以及相对于隔膜以及试样配置于带电粒子光学镜筒的相反的一侧并在带电粒子光学镜筒的光轴的延长线上具有光轴的至少一部分的光学显微镜。

主权项

一种观察装置，其特征在于，具备：带电粒子光学镜筒，其将一次带电粒子线照射至试样；真空泵，其对所述带电粒子光学镜筒的内部进行抽真空；能够装卸的隔膜，其以对载置有所述试样的空间与所述带电粒子光学镜筒进行隔离的方式以与所述试样非接触的状态被配置，并供所述一次带电粒子线透射或者通过；以及光学显微镜，其相对于所述隔膜以及所述试样配置于所述带电粒子光学镜筒的相反的一侧，并在所述带电粒子光学镜筒的光轴的延长线上具有光轴的至少一部分。