[发明专利]观察装置以及光轴调整方法

说明书

技术领域

本发明涉及能够对试样在大气压或者比大气压稍低的负压状态的规定的气体氛围中进行观察的显微镜技术。

背景技术

为了对物体的微小的区域进行观察，使用扫描式电子显微镜(SEM)、透射式电子显微镜(TEM)等。通常，在这些装置中，对用于供试样配置的框体进行真空排气，将试样氛围形成真空状态并对试样进行拍摄。然而，生物化学试样、液体试样等因真空而受损，或者导致状态变化。另一方面，欲利用电子显微镜对上述的试样进行观察的需求较大，所以近年来，开发有能够对观察对象试样在大气压下进行观察的SEM装置、试样保持装置等。

这些装置原理上在电子光学系统与试样之间设置能够供电子线透射的隔膜或者微小的贯通孔而隔开真空状态与大气状态，在试样与电子光学系统之间设置隔膜这点均共通。

例如，在专利文献1中，公开有如下的SEM，即将电子光学镜筒的电子源侧配置为向下，并且将物镜侧配置为向上，在电子光学镜筒末端的电子线的出射孔上经由O型圈设置能够供电子线透射的隔膜。在该文献所记载的发明中，将观察对象试样直接载置于隔膜上，从试样的下表面照射一次电子线，对反射电子或者二次电子进行检测而进行SEM观察。试样保持于由设置于隔膜的周围的环状部件与隔膜构成的空间内，并且在该空间内充满水等液体。

专利文献1：日本特开2009-158222号公报(美国专利申请公开第2009/0166536号说明书)

发明内容

发明所要解决的课题

以往的带电粒子线装置均为专用于大气压下或者与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察而制造的装置，不存在能够使用通常的高真空型带电粒子显微镜而简便地进行大气压或者与大气压大致相等的压力的气体氛围下的观察的装置。

例如，专利文献1所记载的SEM为构造非常特殊的装置，无法执行通常的高真空氛围中的SEM观察。

并且，在专利文献1的方法中，未公开有相对于试样的相同的位置同时地进行基于带电粒子线与光的观察的技术。

解决课题的方案

本发明是鉴于上述的问题而完成的，其目的在于提供一种不对以往的高真空型带电粒子显微镜的结构变更较大，而能够对试样在大气氛围、或者真空下、或者所希望的气体氛围下进行观察，并且能够通过带电粒子线显微镜以及光学显微镜进行试样的观察的复合型的显微镜装置。

为了解决上述课题，例如采用权利要求书所记载的结构。

本申请包括多个解决上述课题的机构，但若列举其一个例子，则其特征在于，具备：带电粒子光学镜筒，其将一次带电粒子线照射至试样；真空泵，其对上述带电粒子光学镜筒的内部进行抽真空；能够装卸的隔膜，其配置为对载置有上述试样的空间与上述带电粒子光学镜筒进行隔离，并供上述一次带电粒子线透射或者通过；以及光学显微镜，其相对于上述隔膜以及上述试样配置于上述带电粒子光学镜筒的相反的一侧，并在上述带电粒子光学镜筒的光轴的延长线上具有光轴的至少一部分。

发明效果

根据本发明，能够提供一种不对以往的高真空型带电粒子显微镜的结构变更较大，而能够对试样在大气氛围、或者真空下、或者所希望的气体氛围下进行观察，并且能够通过带电粒子线显微镜以及光学显微镜进行试样的观察的复合型的显微镜装置。

上述以外的课题、结构以及效果能够根据以下的实施方式的说明更加清楚。

附图说明

图1是实施例1的带电粒子显微镜的整体结构图。

图2是隔膜的详细图。

图3是实施例1的带电粒子显微镜的光源的说明图。

图4是对隔膜的位置调整进行说明的图。

图5是对光学显微镜的位置调整进行说明的图。

图6是对使试样沿光轴方向移动时的各图像进行说明的图。

图7是实施例2的带电粒子显微镜的整体结构图。

图8是实施例3的带电粒子显微镜的整体结构图。

图9是拉出实施例3的带电粒子显微镜的试样工作台的图。

图10是对卸下实施例3的隔膜等的状态进行说明的图。

图11是实施例4的带电粒子显微镜的整体结构图。

图12是实施例5的带电粒子显微镜的整体结构图。

图13是实施例6的带电粒子显微镜的整体结构图。

图14是实施例7的带电粒子显微镜的整体结构图。

具体实施方式

以下，使用附图对各实施方式进行说明。