[发明专利]触摸面板和触摸面板的制造方法

摘要

本发明提供削减了工序数量的触摸面板的制造方法。触摸面板(1)的制造方法包括对第一透明导电膜进行图案化而形成包括传感电极(14、15)的一部分的层的工序；对与上述第一透明导电膜相比电阻低的高导电膜进行图案化而形成包括配线(171)的层的工序；对遮光膜进行图案化而形成包括遮光部(11)的层的工序；和在形成包括上述遮光部(11)的层后，对绝缘膜进行图案化而形成包括层间绝缘膜(121)和平坦化膜(122)的层的工序。对上述遮光膜进行图案化的工序和对上述绝缘膜进行图案化的工序，在对上述第一透明导电膜进行图案化的工序与对上述高导电膜进行图案化的工序之间进行。

主权项

一种触摸面板的制造方法，该触摸面板具备：包括在俯视时相互交叉的第一电极和第二电极的传感电极；将所述第一电极与所述第二电极绝缘的层间绝缘膜；与所述传感电极电连接的配线；以与所述配线在俯视时重叠的方式形成的遮光部；和覆盖所述遮光部而形成的平坦化膜，所述触摸面板的制造方法的特征在于，包括：对第一透明导电膜进行图案化而形成包括所述传感电极的一部分的层的工序；对与所述第一透明导电膜相比电阻低的高导电膜进行图案化而形成包括所述配线的层的工序；对遮光膜进行图案化而形成包括所述遮光部的层的工序；和在形成包括所述遮光部的层后，对绝缘膜进行图案化而形成包括所述层间绝缘膜和所述平坦化膜的层的工序，对所述遮光膜进行图案化的工序和对所述绝缘膜进行图案化的工序，在对所述第一透明导电膜进行图案化的工序与对所述高导电膜进行图案化的工序之间进行。