[发明专利]触摸面板和触摸面板的制造方法

权利要求书

1.一种触摸面板的制造方法，该触摸面板具备：

包括在俯视时相互交叉的第一电极和第二电极的传感电极；

将所述第一电极与所述第二电极绝缘的层间绝缘膜；

与所述传感电极电连接的配线；

以与所述配线在俯视时重叠的方式形成的遮光部；和

覆盖所述遮光部而形成的平坦化膜，

所述触摸面板的制造方法的特征在于，包括：

对第一透明导电膜进行图案化而形成包括所述传感电极的一部分的层的工序；

对与所述第一透明导电膜相比电阻低的高导电膜进行图案化而形成包括所述配线的层的工序；

对遮光膜进行图案化而形成包括所述遮光部的层的工序；和

在形成包括所述遮光部的层后，对绝缘膜进行图案化而形成包括所述层间绝缘膜和所述平坦化膜的层的工序，

对所述遮光膜进行图案化的工序和对所述绝缘膜进行图案化的工序，在对所述第一透明导电膜进行图案化的工序与对所述高导电膜进行图案化的工序之间进行。

2.如权利要求1所述的触摸面板的制造方法，其特征在于：

所述高导电膜包括：金属膜；和与所述金属膜相比光吸收率高的遮光导电膜。

3.如权利要求2所述的触摸面板的制造方法，其特征在于：

所述遮光导电膜为氧化铟膜。

4.如权利要求1至3中任一项所述的触摸面板的制造方法，其特征在于：

所述传感电极的一部分由所述高导电膜形成。

5.如权利要求4所述的触摸面板的制造方法，其特征在于：

依次进行对所述第一透明导电膜进行图案化的工序、对所述遮光膜进行图案化的工序、对所述绝缘膜进行图案化的工序和对所述高导电膜进行图案化的工序。

6.如权利要求4所述的触摸面板的制造方法，其特征在于：

依次进行对所述高导电膜进行图案化的工序、对所述遮光膜进行图案化的工序、对所述绝缘膜进行图案化的工序和对所述第一透明导电膜进行图案化的工序。

7.如权利要求1至3中任一项所述的触摸面板的制造方法，其特征在于：

还包括对第二透明导电膜进行图案化的工序，

所述传感电极的一部分由所述第二透明导电膜形成。

8.如权利要求7所述的触摸面板的制造方法，其特征在于：

依次进行对所述第二透明导电膜进行图案化的工序、对所述高导电膜进行图案化的工序、对所述遮光膜进行图案化的工序、对所述绝缘膜进行图案化的工序和对所述第一透明导电膜进行图案化的工序。

9.如权利要求8所述的触摸面板的制造方法，其特征在于：

所述第二电极包括：多个岛状电极；和将相邻的所述岛状电极彼此连接的连接部，

所述第一电极和岛状电极由所述第一透明导电膜形成，

所述连接部由所述第二透明导电膜形成。

10.如权利要求8所述的触摸面板的制造方法，其特征在于：

所述第二电极包括：多个岛状电极；和将相邻的所述岛状电极彼此连接的连接部，

所述第一电极和岛状电极由所述第二透明导电膜形成，

所述连接部由所述第一透明导电膜形成。

11.如权利要求7所述的触摸面板的制造方法，其特征在于：

依次进行对所述第一透明导电膜进行图案化的工序、对所述遮光膜进行图案化的工序、对所述绝缘膜进行图案化的工序、对所述第二透明导电膜进行图案化的工序和对所述高导电膜进行图案化的工序。

12.一种触摸面板，其包括传感电极，该传感电极包括在俯视时相互交叉的第一电极和第二电极，所述触摸面板的特征在于，具备：

第一透明导电膜被图案化而形成的第一透明导电层；

与所述第一透明导电膜相比电阻低的高导电膜被图案化而形成的高导电层；

遮光膜被图案化而形成的遮光层；和

绝缘膜被图案化而形成的绝缘层，

所述绝缘层具备：将所述第一电极与所述第二电极之间绝缘的层间绝缘膜；和以覆盖所述遮光层的方式形成的平坦化膜，

所述第一透明导电层在同一平面上包括构成所述传感电极的所述第一电极和所述第二电极的多个岛状电极，

所述遮光层和所述绝缘层形成在所述第一透明导电层与所述高导电层之间。