[发明专利]热式空气流量传感器有效
| 申请号： | 201380034261.9 | 申请日： | 2013-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN104395708B | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 土井良介;半泽惠二;德安升 | 申请（专利权）人： | 日立汽车系统株式会社 |
| 主分类号： | G01F1/684 | 分类号： | G01F1/684;G01F1/692;G01P5/12 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供一种检测精度高的热式流量传感器。为了达成上述目的，本发明的热式流量传感器包括流量检测元件，其包括对半导体基板进行加工而设置的隔膜、在所述隔膜上设置的发热电阻体、在所述发热电阻体的上游侧和下游侧分别设置的测温电阻体；支承部件，其经由粘接剂片接合保持所述流量检测元件，所述支承部件具有一端在设置于所述隔膜的背面侧的空洞部开口的连通孔，所述粘接剂片在所述支承部件的连通孔的开口区域形成有通气孔。 | ||
| 搜索关键词： | 空气 流量传感器 | ||
【主权项】：
一种热式空气流量传感器，其特征在于，包括：流量检测元件，其包括对半导体基板进行加工而设置的隔膜、在所述隔膜上设置的发热电阻体、在所述发热电阻体的上游侧和下游侧分别设置的测温电阻体；和支承部件，其经由粘接剂片接合保持所述流量检测元件，所述支承部件具有一端在设置于所述隔膜的背面侧的空洞部开口的连通孔，所述粘接剂片具有通气孔，所述通气孔设置在与所述支承部件的连通孔的开口区域对应的粘接剂片的区域，使得所述空洞部与所述连通孔的一侧的开口连通，在所述粘接剂片上，按规定的间隔在所述粘接剂片的整个面形成有多个通气孔。
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