[发明专利]定向取向嵌段共聚物薄膜的制造在审
| 申请号： | 201380033534.8 | 申请日： | 2013-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN104395230A | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | G·辛格;A·卡里姆 | 申请（专利权）人： | 阿克伦大学 |
| 主分类号： | B82Y40/00 | 分类号： | B82Y40/00;B32B7/04;B32B27/28 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 李婉婉;金迪 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供定向取向嵌段共聚物薄膜和用于生产定向取向嵌段薄膜的区域退火工艺。所述区域退火工艺包括通过柔和剪切力工艺诱导水平取向嵌段共聚物的方法，以及借助于急剧动态区域退火来诱导垂直取向嵌段共聚物的方法。所述区域退火工艺能够实现定向取向嵌段薄膜的小规模及大规模生产。所述冷区退火工艺还能与图形外延方法组合使用。 | ||
| 搜索关键词： | 定向 取向 共聚物 薄膜 制造 | ||
【主权项】：
一种生产定向取向嵌段共聚物的方法，所述方法包括：提供模板支撑的嵌段共聚物薄膜以及提供至少20℃/mm的热梯度的退火区域，所述模板在接触所述嵌段共聚物薄膜的表面上具有图案；使所述嵌段共聚物薄膜与限制层接触，其中所述嵌段共聚物薄膜和所述限制层中的一个的热膨胀系数是另一个的热膨胀系数的至少两倍；使所述嵌段共聚物薄膜和所述退火区域相对彼此移动，以使所述嵌段共聚物薄膜位于所述加热元件与所述限制层之间；以及使所述嵌段共聚物薄膜和所述退火区域相对彼此移动，以利用所述退火区域使所述嵌段共聚物薄膜退火。
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