[发明专利]薄膜的改进型准分子激光退火在审
| 申请号： | 201380032042.7 | 申请日： | 2013-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN104379820A | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 詹姆斯·S·尹 | 申请（专利权）人： | 纽约市哥伦比亚大学理事会 |
| 主分类号： | C30B13/24 | 分类号： | C30B13/24 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 杨波 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本公开涉及能以显著增加的有效结晶速率使Si膜结晶用于大型显示器的新一代激光-结晶方法。本公开的此方面示出的特定方案被称为高级准分子激光退火(AELA)方法，并且使用各种可用的并成熟的技术性元件容易地将其用于生产大型OLED TV。如在ELA中，主要是基于部分-/几乎完全-熔融-状态的结晶方法，然而，其在有效结晶速率上最终可获得比利用相同激光源的常规ELA技术高出一个数量级的增加。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 改进型 准分子激光 退火 | ||
【主权项】：
一种用于使薄膜结晶的方法，其特征在于，所述方法包括：提供具有多个装置形成区域的薄膜；产生具有均匀部分和两个边缘部分的线光束，同时沿第一方向连续平移所述薄膜，且用所述线光束的均匀部分照射第一装置形成区域；和用所述线光束的均匀部分照射与所述第一装置形成区域不同的第二装置形成区域。
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