[发明专利]具有偏振补偿功能的光学测量系统及相应的方法

摘要

一种校准光学测量系统的方法，包括提供光学测量系统，所述光学测量系统的光学元件包括分束器、被施加来自所述分束器的第一分束的第一光传感器、光学滤波器以及沿照射方向设于所述光学滤波器后面且被施加来自所述分束器的第二分束的第二光传感器。其中，数个所述光学元件的角位和相互间的相对位置被构造成可校准。所述方法进一步包括提供用于从所述两个光传感器的信号中形成差分信号的装置、提供时变偏振光源、将光射入所述分束器以分别将分束施加于所述两个光传感器、形成所述光传感器的输出信号的差分信号、改变至少一个所述光学元件的位置和/或角位并观测所述差分信号、测定所述元件使得所述差分信号达到最小值的角位/位置组合以及将所述光学元件的角位调节至测定值。此外还提出一种相应的系统。

主权项

一种校准光学测量系统的方法，包括：‑提供光学测量系统，其光学元件包括：‑分束器；‑被施加来自所述分束器的第一分束的第一光传感器；‑光学滤波器；‑沿照射方向设于所述光学滤波器后面且被施加来自所述分束器的第二分束的第二光传感器，其中数个所述光学元件的角位和相互间的相对位置被构造成可校准；‑提供用于从所述两个光传感器的信号中形成差分信号的装置；‑提供时变偏振光源，‑将光射入所述分束器以分别将分束施加于所述两个光传感器；‑形成所述光传感器的输出信号的差分信号；‑改变至少一个所述光学元件的位置和/或角位并观测所述差分信号；‑测定所述元件使得所述差分信号达到最小值的角位/位置组合。