[发明专利]具有偏振补偿功能的光学测量系统及相应的方法

权利要求书

1.一种校准光学测量系统的方法，包括：

-提供光学测量系统，其光学元件包括：

-分束器；

-被施加来自所述分束器的第一分束的第一光传感器；

-光学滤波器；

-沿照射方向设于所述光学滤波器后面且被施加来自所述分束器的第 二分束的第二光传感器，

其中数个所述光学元件的角位和相互间的相对位置被构造成可校准；

-提供用于从所述两个光传感器的信号中形成差分信号的装置；

-提供时变偏振光源，

-将光射入所述分束器以分别将分束施加于所述两个光传感器；

-形成所述光传感器的输出信号的差分信号；

-改变至少一个所述光学元件的位置和/或角位并观测所述差分信号；

-测定所述元件使得所述差分信号达到最小值的角位/位置组合。

2.如权利要求1所述的方法，进一步包括：

-除改变偏振外还改变所述入射光的频率。

3.如权利要求1所述的校准测量系统的方法，其中将所述光传感器的输 出信号所形成的各差分信号连同各个所述元件的对应的角度数据存储在电子 存储装置中。

4.如权利要求1所述的校准测量系统的方法，其中在完成所述光学元件 的校准范围后自动测定，在哪些角位下测量到了最小的差分输出信号，并将相 关的光传感器送入相应位置并予以固定。

5.如前述权利要求1所述的校准测量系统的方法，其中借助运动的λ/4 板体使所述入射光产生偏振。

6.一种用于对光学测量系统进行偏振补偿校准的系统，包括：

-分束器，

-被构造成可被施加来自所述分束器的第一分束的第一光传感器

-被构造成可被施加来自所述分束器的第二分束的光学滤波器；

-沿照射方向设于所述滤波器后面的第二光传感器，

-用于提供时变偏振光的光源，其中借助有源元件使所述偏振随时间变 化。

7.如权利要求6所述的系统，进一步包括用于检测所述光传感器的差分 输出信号的电子控制器以及用于改变所述光传感器的角位的执行机构。

8.如权利要求7所述的系统，其中所述控制器设计用于实施校准方法， 所述校准方法包括：

-提供光学测量系统，其光学元件包括：

-分束器；

-被施加来自所述分束器的第一分束的第一光传感器；

-光学滤波器；

-沿照射方向设于所述光学滤波器后面且被施加来自所述分束器的第 二分束的第二光传感器，

其中数个所述光学元件的角位和相互间的相对位置被构造成可校准；

-提供用于从所述两个光传感器的信号中形成差分信号的装置；

-提供时变偏振光源，

-将光射入所述分束器以分别将分束施加于所述两个光传感器；

-形成所述光传感器的输出信号的差分信号；

-改变至少一个所述光学元件的位置和/或角位并观测所述差分信号；

-测定所述元件使得所述差分信号达到最小值的角位/位置组合。

9.一种如权利要求6所述的系统的应用，用于测量力学量，其中所述系 统进一步包括光纤Bragg光栅。

10.如权利要求9所述的应用，包括：

以如下方式将所述力学量施加于所述光纤Bragg光栅：使所述光纤Bragg 光栅的Bragg波长被所述力学量改变；

借助所述分束器将来自所述光纤Bragg光栅的二次光分成第一分束和第 二分束，

用所述光学滤波器对被所述光纤Bragg光栅的Bragg波长根据所述力学量 加以改性的二次光进行滤波，

检测所述二次光经过滤波的第一分束和第二分束的强度；

对所述二次光经过滤波的第一分束和第二分束的测得强度进行比较；以及

从所述强度比较中测定所述力学量。