[发明专利]用于加速外延剥离的应变控制

摘要

本发明公开了用于外延剥离的薄膜装置，其包含柄和一个或多个配置在所述柄上的应变层，其中所述一个或多个应变层引起所述柄弯曲。本发明还公开了制造用于外延剥离的薄膜装置的方法，其包括在柄上沉积一个或多个应变层，其中所述一个或多个应变层在所述柄上引起至少一种选自拉伸应变、压缩应变和近中性应变的应变。本发明还公开了用于外延剥离的方法，其包括在配置于生长基底上的牺牲层上沉积外延层；在所述生长基底和所述柄中的至少一者上沉积一个或多个应变层；使所述柄结合于所述生长基底；以及蚀刻所述牺牲层。

主权项

1.一种用于外延剥离的薄膜装置，其包含：生长基底；至少一个牺牲层；柄；和一个或多个配置在所述柄上的应变层，其中所述一个或多个应变层在所述柄上引起至少一种应变，并且其中至少在蚀刻所述牺牲层牺，在所述柄上的所述至少一种应变引起所述柄弯曲。