[发明专利]电极调整组件与调整电极的方法

摘要

本发明提供一种电极调整组件与调整电极的方法，用于工件制程。电极调整组件可包括具有第一端及第二端(126，128)的电极组件(124)。第一及第二机械手(130，132)可被耦接至第一端及第二端。机械手可被用以选择性地带动电极组件的第一和第二端部的移动以调整一或多个通过电极的离子束特性。第一及第二机械手可独立操纵使得电极的第一端及第二端可彼此独立地被调整。

主权项

一种电极调整组件，用于工件制程，所述电极调整组件包括：电极，具有第一端及第二端；以及耦接所述第一端的第一机械手及耦接所述第二端的第二机械手，所述第一机械手及所述第二机械手设置以选择性地带动所述电极的所述第一端及所述第二端的移动；其中所述第一机械手及所述第二机械手可独立操纵使得所述电极的所述第一端及所述第二端可彼此独立地被调整；其中所述电极的所述第一端及所述第二端的独立调整可带动所述电极以两个相互垂直的轴旋转；且其中所述第一机械手及所述第二机械手设置以沿着第一正交轴及第二正交轴带动所述电极的所述第一端及所述第二端的平移移动。