[发明专利]电极调整组件与调整电极的方法

说明书

交叉引用

本发明主张2012年4月17日申请的美国非临时专利申请案第61/625,428号的优先权，其中该案的所有内容并入于本发明中。

技术领域

本发明的实施例涉及一般的半导体加工，且特别是涉及一种在半导体制程应用中，用以操纵电极组件的系统与方法。

背景技术

离子植入法是一种藉由带电离子轰击工件用以将化学物种植入工件的制程。在半导体制程中，离子植入机被用于改变靶材的导电性的类型和级别的掺杂制程。在工件上的一个精确的掺杂分布，例如是集成电路(IC)基材，且对适当的集成电路的表现而言，其薄膜结构是相当重要的。为了达到理想的掺杂分布，一或多种离子种类可以不同的剂量及不同的能量水平被植入。

图1描绘了一个离子注入器系统。离子植入机100包括离子源101，包括多个电极的电极组件102以及用于操纵离子能量以及产生离子束10以所需的能量轰击标靶工件114的多个光束线组件103。

如前所述，离子植入机利用电极操纵离子能量(例如是引导、加速或减速离子束中的离子)。举例而言，多个电极104可被用以从离子源提取并形成离子束。这些电极的位置可能需要考虑离子束能量或离子束电流的变化调整。这些电极的方向也需要被调整以更正机械偏差或改变离子束的方向。当电极变大或当离子束的尺寸变大时，以单一端支撑电极会变得更加具有挑战性。因此，有必要提供一种改进的装置以在离子植入机中调整大型电极的位置以维持理想的均匀离子束。

发明内容

本发明内容以简单的形式提供且介绍概念的选择，并在以下的具体实施方式中进一步描述。本发明并不限制权利要求标的物中的关键特征或基本特征，亦不欲作为决定权利要求标的物的范围一种辅助手段。

一种电极调整组件被揭示以用于工件制程。组件可包括具有第一及第二端的电极、耦接第一端的第一机械手以及耦接第二端的第二机械手。第一与第二机械手可被设置以选择性地带动电极的第一端及第二端的移动。第一与第二机械手独立地可被致动，使得电极的第一及第二端能彼此独立的被调整。

一种电极调整组件被揭示以用于工件制程。组件可包括具有第一及第二端的电极组件、耦接第一端的第一机械手以及耦接第二端的第二机械手。第一与第二机械手可被配置以选择性地且独立地带动电极组件的第一端及第二端的移动。

一种用于调整电极的方法，此方法为工件制程操作的一部分。本方法可包括：利用与第一及第二端关联的第一及第二独立地可操作的机械手分别调整电极的第一及第二端，其中调整第一及第二端以调整通过电极的开孔所接收到的离子束的参数。

附图说明

附图显示目前本公开方法较佳实施例的设计的原则的实际应用，其中：

图1为本实施例的离子植入系统的示意图。

图2为图1的系统的离子源腔体组件的立体图。

图3为沿图2的线3-3的离子源腔体组件的剖面图。

图4为图2的离子源腔体的一实施例的抑制接地电极组件的部分的立体图。

图5为图4的抑制接地电极组件的部分的立体图。

图6为图5的抑制接地电极组件的部分其组件绕着第一轴旋转的另一第一侧视图。

图7为图5的抑制接地电极组件的部分其组件绕着第二轴旋转的另一第二侧视图。

图8为图4的抑制接地电极组件的一实施例的机械手的立体图。

图9为图4的抑制接地电极组件的密封板组件的立体图。

图10为图9的密封板组件的反向立体图。

图11至图14是图2的抑制接地电极组件，沿线11-11，使用一对机械手的离子源与接地电极在不同的位置的一系列的剖面图。

图15显示本揭示内容一实施例的方法的流程图。

具体实施方式

本实施例在此描述关于一种离子植入机。离子植入机可为一种质量分析离子束的束线离子植入机，或是一种不质量分析离子束的大量植入机。然而，这些实施例也能被利用在其他有关半导体制造或其他利用离子的系统中的系统或制程。这些实施例可被利用在用于平板的植入机、半导体或集成电路基板、太阳能电池或其他工件。因此，本发明并不以下列描述的具体实施例为限。