[发明专利]切断机构、接合机构、基板处理系统、基板处理装置及基板处理方法

摘要

一种基板处理系统，具有：第1处理单元，对以速度V1搬送的基板连续地实施第1处理；以及第2处理单元，以速度V2搬送由第1处理单元处理后的基板，对基板连续地实施第2处理，在根据第1、第2处理单元各自的性能，能够将速度的关系设定成V1＞V2的情况下，设置多个第2处理单元，且还具有切断机构和选择投入机构，在根据第1、第2处理单元各自的性能，能够将速度的关系设定成V1＜V2的情况下，设置多个第1处理单元，且还具有将由多个第1处理单元实施第1处理的多个基板，依次接合并投入至第2处理单元的接合机构。

主权项

一种基板处理系统，具有：第1处理单元，对沿长边方向以速度V1搬送的基板连续地实施第1处理；以及第2处理单元，以速度V2搬送由所述第1处理单元处理后的所述基板，对所述基板连续地实施第2处理，其特征在于，在根据所述第1处理单元、第2处理单元各自的性能，能够将所述速度的关系设定成V1＞V2的情况下，设置多个所述第2处理单元，且在所述第1处理单元之后，还具有：将实施了所述第1处理的所述基板以所述长边方向的规定长度切断的切断机构；和将所述切断的基板投入至多个所述第2处理单元的任一个的选择投入机构，在根据所述第1处理单元、第2处理单元各自的性能，能够将所述速度的关系设定成V1＜V2的情况下，设置多个所述第1处理单元，且在所述第2处理单元之前，还具有将由多个所述第1处理单元分别实施所述第1处理的多个基板，沿所述长边方向依次接合并投入至所述第2处理单元的接合机构。