[发明专利]切断机构、接合机构、基板处理系统、基板处理装置及基板处理方法

权利要求书

1.一种基板处理系统，具有：

第1处理单元，对沿长边方向以速度V1搬送的基板连续地实施第1处理；以及

第2处理单元，以速度V2搬送由所述第1处理单元处理后的所述基板，对所述基板连续地实施第2处理，其特征在于，

在根据所述第1处理单元、第2处理单元各自的性能，能够将所述速度的关系设定成V1＞V2的情况下，设置多个所述第2处理单元，且在所述第1处理单元之后，还具有：将实施了所述第1处理的所述基板以所述长边方向的规定长度切断的切断机构；和将所述切断的基板投入至多个所述第2处理单元的任一个的选择投入机构，

在根据所述第1处理单元、第2处理单元各自的性能，能够将所述速度的关系设定成V1＜V2的情况下，设置多个所述第1处理单元，且在所述第2处理单元之前，还具有将由多个所述第1处理单元分别实施所述第1处理的多个基板，沿所述长边方向依次接合并投入至所述第2处理单元的接合机构。

2.根据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，在能够将所述速度的关系设定为V1＞V2的情况下，还具有第1缓冲部，该第1缓冲部使所述基板的储存量能够根据实施了所述第1处理的所述基板的搬送量而改变，且调整朝向所述切断机构搬送的所述基板的搬送量。

3.根据权利要求2所述的基板处理系统，其特征在于，还具有使所述切断机构的动作与所述第1缓冲部中的所述基板的储存量连动的连动控制部。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板处理系统，其特征在于，在能够将所述速度的关系设定为V1＜V2的情况下，还具有第2缓冲部，该第2缓冲部使所述基板的储存量能够根据要实施所述第2处理的所述基板的搬送量而改变，且调整从所述接合机构投入至所述第2处理单元的所述基板的搬送量。

5.根据权利要求4所述的基板处理系统，其特征在于，还具有使所述接合机构的动作与所述第2缓冲部中的所述基板的储存量连动的第2连动控制部。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的基板处理系统，其特征在于，具有工作站部，其分别与所述第1处理单元及所述第2处理单元相邻地设置，且一体地具有所述切断机构及所述接合机构。

7.根据权利要求6所述的基板处理系统，其特征在于，所述工作站部具有：

移动部，其能够保持所述基板且沿所述长边方向移动；和

移动控制部，其使所述移动部移动至基于所述切断机构的切断区域、或基于所述接合机构的接合区域。

8.一种基板处理方法，具有：

通过第1处理单元对沿长边方向以速度V1搬送的基板连续地实施第1处理的动作；和

以速度V2搬送由所述第1处理单元处理后的所述基板，并通过第2处理单元对所述基板连续地实施第2处理的动作，其特征在于，

在根据所述第1处理单元、第2处理单元各自的性能，能够将所述速度的关系设定成V1＞V2的情况下，使用多个所述第2处理单元，且在所述第1处理单元之后，还具有：将实施了所述第1处理的所述基板以所述长边方向的规定长度切断的切断步骤；和将所述切断的基板投入至多个所述第2处理单元的任一个的选择投入步骤，

在根据所述第1处理单元、第2处理单元各自的性能，能够将所述速度的关系设定成V1＜V2的情况下，使用多个所述第1处理单元，且在所述第2处理单元之前，还具有将由多个所述第1处理单元分别实施所述第1处理的多个基板，沿所述长边方向依次接合并投入至所述第2处理单元的接合步骤。

9.根据权利要求8所述的基板处理方法，其特征在于，在能够将所述速度的关系设定为V1＞V2的情况下，根据实施了所述第1处理的所述基板的搬送量来调整所述基板的储存量，且调整朝向进行所述切断的区域搬送的所述基板的搬送量。

10.根据权利要求9所述的基板处理方法，其特征在于，使所述基板的切断动作与所述基板的储存量的调整连动。

11.根据权利要求8所述的基板处理方法，其特征在于，在能够将所述速度的关系设定为V1＜V2的情况下，根据要实施所述第2处理的所述基板的搬送量来调整所述基板的储存量，且调整从进行所述接合的区域投入至所述第2处理单元的所述基板的搬送量。

12.根据权利要求11所述的基板处理方法，其特征在于，使所述基板的接合动作与所述基板的储存量的调整连动。