[发明专利]观察拍摄装置有效
| 申请号： | 201380024943.1 | 申请日： | 2013-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN104470681B | 公开（公告）日： | 2017-11-21 |
| 发明（设计）人： | 足立吉隆;中山诚 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人鹿儿岛大学;株式会社中山电机 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B37/10;B24B37/24;B24B37/26;B24B37/34;B24B49/12;B24B57/02;C25F3/00;C25F3/16 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 李辉,黄纶伟 |
| 地址： | 日本鹿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种附设有研磨机构(20)的观察拍摄装置。研磨机构(20)设有旋转轴(23)铅直的旋转盘(24)；研磨布(26、27)，其安装在该旋转盘(24)的下表面上并对试样(15)的表面进行研磨；以及研磨液喷嘴(31、33)，其配置在比该研磨布(26、27)靠下方的位置，并朝上喷射含有研磨材料的研磨液，以润湿研磨布(26、27)。 | ||
| 搜索关键词： | 观察 拍摄 装置 | ||
【主权项】：
一种观察拍摄装置，其在带拍摄部的显微镜上附设有电解研磨机构，该拍摄部能够观察并拍摄试样的表面，在进行所述观察之前，该电解研磨机构对所述试样的表面在垂直方向上以等间隔或设定的量反复进行电解研磨，其特征在于，所述电解研磨机构具有：旋转轴铅直的旋转盘；电解液吸收布，其安装在该旋转盘的下表面上并吸收对观察面进行电解研磨的电解液；以及电解液喷嘴，其配置在比该电解液吸收布靠下方的位置，并朝上喷射所述电解液以润湿所述电解液吸收布，所述观察拍摄装置具有：测量器，其测量从该测量器到达所述试样的表面或观察面的距离；以及运算部，其根据由该测量器测量的研磨前的距离和研磨后的距离之差来运算研磨量。
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