[发明专利]观察拍摄装置

权利要求书

1.一种观察拍摄装置，其在带拍摄部的显微镜上附设有电解研磨机构，该拍摄部能够观察并拍摄试样的表面，在进行所述观察之前，该电解研磨机构对所述试样的表面在垂直方向上以等间隔或设定的量反复进行电解研磨，其特征在于，

所述电解研磨机构具有：旋转轴铅直的旋转盘；电解液吸收布，其安装在该旋转盘的下表面上并吸收对观察面进行电解研磨的电解液；以及电解液喷嘴，其配置在比该电解液吸收布靠下方的位置，并朝上喷射所述电解液以润湿所述电解液吸收布，

所述观察拍摄装置具有：测量器，其测量从该测量器到达所述试样的表面或观察面的距离；以及运算部，其根据由该测量器测量的研磨前的距离和研磨后的距离之差来运算研磨量。

2.根据权利要求1所述的观察拍摄装置，其特征在于，

所述观察拍摄装置从所述电解液喷嘴喷射腐蚀液。

3.根据权利要求1所述的观察拍摄装置，其特征在于，

所述旋转盘配置在筒状罩内，所述带拍摄部的显微镜配置在所述筒状罩的外部，所述电解液喷嘴的喷射区域被设定在所述筒状罩内。

4.根据权利要求1所述的观察拍摄装置，其特征在于，

所述观察拍摄装置具有：试样台升降机构，其使实施了电解研磨的所述试样移动至所述带拍摄部的显微镜的观察位置；以及控制部，其将所述研磨量考虑在内来控制所述试样台升降机构，使得所述表面或观察面与所述带拍摄部的显微镜的焦点一致。

5.根据权利要求4所述的观察拍摄装置，其特征在于，

所述带拍摄部的显微镜安装在水平地移动的承载台上，

所述控制部保存由所述承载台实现的移动之前的图像，并且还具有下述控制功能：以使借助所述承载台移动的所述带拍摄部的显微镜根据所述移动之前的图像返回至初始位置的方式对所述承载台进行控制。

6.一种观察拍摄装置，其在带拍摄部的显微镜上附设有电解研磨机构，该拍摄部能够观察并拍摄试样的表面，在进行所述观察之前，该电解研磨机构对所述试样的表面在垂直方向上以等间隔或设定的量反复进行电解研磨，其特征在于，

所述电解研磨机构具有：旋转轴铅直的旋转盘；电解液吸收布，其安装在该旋转盘的下表面上并吸收对观察面进行电解研磨的电解液；以及电解液喷嘴，其配置在比该电解液吸收布靠下方的位置，并朝上喷射所述电解液以润湿所述电解液吸收布，

所述观察拍摄装置具有：测量器，其测量从该测量器到达所述试样的表面或观察面的距离；以及统计处理部，其对由该测量器测量所述表面或观察面的多个部位而得到的多个测量值进行统计性处理而求出表面粗糙度。

7.根据权利要求6所述的观察拍摄装置，其特征在于，

所述观察拍摄装置从所述电解液喷嘴喷射腐蚀液。

8.根据权利要求6所述的观察拍摄装置，其特征在于，

所述旋转盘配置在筒状罩内，所述带拍摄部的显微镜配置在所述筒状罩的外部，所述电解液喷嘴的喷射区域被设定在所述筒状罩内。