[发明专利]曝光装置、平面显示器的制造方法、及元件制造方法有效
| 申请号： | 201380018931.8 | 申请日： | 2013-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN104204955A | 公开（公告）日： | 2014-12-10 |
| 发明（设计）人： | 青木保夫 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/13;H01L21/027;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 张旭东 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的基板载台装置(PST)，于重量抵消装置(50)所具有的臂部(54)前端固定有与X梁(25)所具有的X固定子(82)对向、对重量抵消装置(50)产生磁吸力的X可动子(56)。重量抵消装置(50)，通过该磁吸力将本身重量及重量抵消装置(50)所支承的微动载台(30)等重量的一部分通过基架(14)传至地面(11)上。从而减轻加于防振装置(34)的偏载重。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 平面 显示器 制造 方法 元件 | ||
【主权项】：
一种扫描型的曝光装置，是在曝光处理时相对曝光用能量束使曝光对象物体在与水平面平行的第1方向以既定第1行程移动，其具备：移动体，能于所述第1方向至少以所述既定第1行程移动、且能在所述水平面内于与所述第1方向正交的第2方向以第2行程移动；物体保持构件，能保持所述物体、与所述移动体一起至少在与所述水平面平行的方向移动；重量抵消装置，从下方支承所述物体保持构件以抵消所述物体保持构件的重量；支承构件，延伸于所述第1方向，从下方支承所述重量抵消装置并能在从下方支承所述重量抵消装置的状态下，于所述第2方向以所述第2行程移动；支承架台，支承所述支承构件；以及载重减轻装置，用以减轻作用于所述支承架台的重力方向的载重负荷。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社尼康;，未经株式会社尼康;许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201380018931.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
