[发明专利]移动体装置、曝光装置、平面显示器的制造方法、及元件制造方法

摘要

本发明的基板载台装置(20A)，具备延伸于扫描方向(X轴方向)、能移动于扫描交叉方向(Y轴方向)的位置的第1步进导件(50)，被第1步进导件(50)从下方支承、能沿第1步进导件(50)上面移动于沿扫描方向的位置且与第1步进导件(50)一起移动于沿扫描交叉方向的位置的微动载台(30)，以及以第2步进导件(54)的上面为基准面并使用设于微动载台(30)的Z感测器(38z)求出微动载台(30)的Z倾斜位置信息的位置测量系。

主权项

一种移动体装置，具备：导件，延伸于既定二维平面内的第1方向，能在所述二维平面内移动于沿与所述第1方向正交的第2方向的位置；移动体，被所述导件从下方支承，能沿以所述导件规定的第1面移动于沿所述第1方向的位置、且能与所述导件一起移动于沿所述第2方向的位置；诱导装置，于所述第2方向和所述导件分离而配置，将所述移动体相对于所述导件往所述第1方向诱导，将所述导件和所述移动体往所述第2方向诱导；可动构件，于所述第2方向和所述导件及所述诱导装置分别分离而配置，延伸于所述第1方向，通过所述诱导装置，能将所述导件与被所述导件支承的所述移动体一起移动于沿所述第2方向的位置；以及位置测量系，将以所述可动构件的上面规定的第2面作为基准面，求出所述移动体在与所述二维平面交叉的方向的位置信息。