[发明专利]带有透明电极的基板及其制造方法有效
| 申请号： | 201380006560.1 | 申请日： | 2013-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN104067353B | 公开（公告）日： | 2016-10-26 |
| 发明（设计）人： | 口山崇;早川弘毅;上田拓明;藤本贵久;山本宪治 | 申请（专利权）人： | 株式会社钟化 |
| 主分类号： | H01B5/14 | 分类号： | H01B5/14;B32B9/00;C23C14/34;C23C14/58;H01B13/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 金世煜;赵曦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种带有透明电极的基板，该基板在透明膜基材的至少一面具有透明电极层。透明膜基材在透明电极层侧的表面具有以氧化物为主成分的透明电介质层。在一个实施方式中，透明电极层为结晶度为80％以上的结晶质透明电极层。在该实施方式中，结晶质透明电极层的电阻率为3.5×10‑4Ω·cm以下，膜厚为15nm～40nm，氧化铟的含量为87.5％～95.5％，载流子密度为4×1020/cm3～9×1020/cm3，且优选带有透明电极的基板的利用热机械分析测定的热收缩起始温度为75℃～120℃。 | ||
| 搜索关键词： | 带有 透明 电极 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种带有透明电极的基板，其透明膜基材具有透明膜和透明电介质层，所述透明电介质层上具有结晶质透明电极层，所述透明电介质层以氧化物为主成分，形成在所述透明膜的至少一面上，所述结晶质透明电极层的电阻率为3.5×10‑4Ω·cm以下，膜厚为15nm～40nm，氧化铟的含量为87.5％～95.5％，载流子密度为4×1020/cm3～9×1020/cm3且结晶度为80％以上，并且，利用热机械分析测定的热收缩起始温度为75℃～120℃。
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