[发明专利]混合射频组件

摘要

方法和系统可以提供包括静电致动和压电致动的混合RF MEMS组件设计。在一个示例中，所述方法可以包括施加第一电压以生成第一压电力来减小悬臂与致动电极之间的第一间隙，以及施加第二电压以生成静电力来在悬臂与传输电极之间产生接触。

主权项

一种进行开关操作的系统，包括：处理组件；耦合到处理组件的存储器组件；以及耦合到处理组件的传播射频（RF）信号的无线无线电组件，其中无线无线电组件包括RF开关，所述RF开关具有，致动电极；以及悬臂，包括，顶电极层；位于顶电极层下方并附于顶电极层的压电层，其中压电层包括氮化铝（AIN），并且其中当在顶电极层与压电层之间施加第一电压时，悬臂经由第一压电力而变形以减小底电极层与致动电极之间的间隙；以及位于压电层下方并附于压电层的底电极层，其中突起部从底电极层延伸以在该突起部与传输电极之间产生间隙，并且其中当在底电极层与致动电极之间施加第二电压时，悬臂经由静电力而变形以弯曲悬臂来接触传输电极，并且其中如果在突起部与传输电极之间发展静摩擦力，则当在顶电极层与压电层之间施加与第一电压相反极性的电压时，悬臂经由第二压电力而变形以将突起部缩回而远离传输电极。