[发明专利]混合射频组件

权利要求书

1.一种进行开关操作的系统，包括：

处理组件；

耦合到处理组件的存储器组件；以及

耦合到处理组件的传播射频（RF）信号的无线无线电组件，其中无线无线电组件包括RF开关，所述RF开关具有，

致动电极；以及

悬臂，包括，

顶电极层；

位于顶电极层下方并附于顶电极层的压电层，其中压电层包括氮化铝（AIN），并且其中当在顶电极层与压电层之间施加第一电压时，悬臂经由第一压电力而变形以减小底电极层与致动电极之间的间隙；以及

位于压电层下方并附于压电层的底电极层，其中突起部从底电极层延伸以在该突起部与传输电极之间产生间隙，并且其中当在底电极层与致动电极之间施加第二电压时，悬臂经由静电力而变形以弯曲悬臂来接触传输电极，并且其中如果在突起部与传输电极之间发展静摩擦力，则当在顶电极层与压电层之间施加与第一电压相反极性的电压时，悬臂经由第二压电力而变形以将突起部缩回而远离传输电极。

2.权利要求1的系统，其中底电极层厚于顶电极层。

3.权利要求1的系统，其中顶电极层厚于底电极层。

4.一种进行开关操作的方法，包括：

施加第一电压以生成第一压电力来减小悬臂与致动电极之间的第一间隙，其中悬臂具有第一电极、位于第一电极下方并附于第一电极的压电层和位于压电层下方并附于压电层的第二电极，其中第二电极包括从第二电极延伸的突起部，并且其中第一电压是在第一电极与压电层之间施加的；

施加第二电压以生成静电力来闭合悬臂与传输电极之间的第二间隙并在悬臂与传输电极之间形成接触，其中第二电压是在第二电极与致动电极之间施加的；以及

如果在突起部与传输电极之间发展静摩擦力，则在第一电极与压电层之间施加与第一电压相反极性的电压以施加第二压电力来弯曲悬臂而远离传输电极。

5.权利要求4的方法，其中第一间隙在悬臂的第二电极和致动电极之间。

6.权利要求4的方法，其中第一电压的施加使压电层变形以在悬臂中产生弯曲力矩。

7.权利要求4的方法，其中第二间隙在悬臂的突起部与传输电极之间。

8.一种进行开关操作的装置，包括：

致动电极；以及

悬臂，具有，

顶电极层；

位于顶电极层下方并附于顶电极层的压电层；以及

位于压电层下方并附于压电层的底电极层，其中突起部从底电极层延伸以在突起部与传输电极之间产生间隙，并且其中当在顶电极层与压电层之间施加第一电压时，悬臂经由第一压电力而变形以减小底电极层与致动电极之间的间隙，并且其中突起部被配置成当在底电极层与致动电极之间施加第二电压时接触传输电极，并且其中如果在突起部与传输电极之间发展静摩擦力，则当在顶电极层与压电层之间施加与第一电压相反极性的电压时，悬臂经由第二压电力而变形以将突起部缩回而远离传输电极。

9.权利要求8的装置，其中底电极层厚于顶电极层。

10.权利要求8的装置，其中顶电极层厚于底电极层。

11.一种制备开关的方法，包括：

图案化底电极层，其中底电极层包括从底电极层延伸的突起部；

在底电极层之上图案化压电层；

在压电层之上图案化顶电极层；

在顶电极层与压电层之间施加第一电压以生成第一压电力来减小底电极层与致动电极之间的第一间隙；

在底电极层与致动电极之间施加第二电压以生成静电力来闭合突起部与传输电极之间的第二间隙；以及

如果在突起部与传输电极之间发展静摩擦力，则在顶电极层与压电层之间施加与第一电压相反极性的电压以施加第二压电力来再产生突起部与传输电极之间的间隙。

12.权利要求11的方法，还包括在硅衬底之上图案化致动电极和传输电极。

13.权利要求12的方法，还包括在致动电极和传输电极中的一个或多个之上图案化牺牲层。

14.权利要求13的方法，还包括在牺牲层上的第一位置处进行蚀刻以容纳突起部。

15.权利要求13的方法，还包括除去牺牲层，其中牺牲层的除去在突起部和传输电极之间产生间隙。