[发明专利]压电体膜及其制造方法、喷墨头、使用喷墨头形成图像的方法、角速度传感器、使用角速度传感器测定角速度的方法、压电发电元件以及使用该压电发电元件的发电方法

摘要

本发明的目的在于提供具有高结晶取向性和高强介电特性的NBT‑BT非铅压电体膜。本发明的压电体膜具备仅具有（001）取向的(1‑α)(Bi,Na,Ba)TiO₃―αBiQO₃层。(1‑α)(Bi,Na,Ba)TiO₃―αBiQO₃层形成在Na_xM_1‑x层之上，M表示Pt、Ir或PtIr，Q表示Fe、Co、Zn_0.5Ti_0.5或Mg_0.5Ti_0.5，x表示0.002以上0.02以下的值，而且，α表示0.20以上0.50以下的值。

主权项

一种压电体膜，其特征在于，包括：作为电极的仅具有(001)取向的Na_xM_1‑x层；和作为压电层的仅具有(001)取向的(1‑α)(Bi,Na,Ba)TiO₃―αBiQO₃层，其中，所述(1‑α)(Bi,Na,Ba)TiO₃―αBiQO₃层形成在所述Na_xM_1‑x层之上，M表示Pt、Ir或PtIr，Q表示Fe、Co、Zn_0.5Ti_0.5或Mg_0.5Ti_0.5，x表示0.002以上0.02以下的值，而且，α表示0.20以上0.50以下的值，所述(1‑α)(Bi,Na,Ba)TiO₃―αBiQO₃层与所述Na_xM_1‑x层接触。