[发明专利]压电体膜及其制造方法、喷墨头、使用喷墨头形成图像的方法、角速度传感器、使用角速度传感器测定角速度的方法、压电发电元件以及使用该压电发电元件的发电方法

权利要求书

1.一种压电体膜，其特征在于，包括：

仅具有（001）取向的Na_xM_1-x层；和

仅具有（001）取向的(1-α)(Bi,Na,Ba)TiO₃―αBiQO₃层，其中，

所述(1-α)(Bi,Na,Ba)TiO₃―αBiQO₃层形成在所述Na_xM_1-x层之上，

M表示Pt、Ir或PtIr，

Q表示Fe、Co、Zn_0.5Ti_0.5或Mg_0.5Ti_0.5，

x表示0.002以上0.02以下的值，而且，α表示0.20以上0.50以下的值。

2.如权利要求1所述的压电体膜，其特征在于：

所述(1-α)(Bi,Na,Ba)TiO₃―αBiQO₃层与所述Na_xM_1-x层接触。

3.如权利要求1所述的压电体膜，其特征在于：

所述(1-α)(Bi,Na,Ba)TiO₃―αBiQO₃层还含有Mn。

4.一种喷墨头，其特征在于，具备：

具有夹在第1电极和第2电极之间的压电体层的压电体膜；

与所述压电体膜接合的振动层；和

压力室部件，所述压力室部件具有容纳墨水的压力室，并且，接合到所述振动层的与所述压电体膜所接合的表面呈相反侧的表面，

所述振动层与所述压电体膜接合，以使得所述振动层相应于所述压电体膜基于压电效应的位移在所述振动层的膜厚方向位移，

所述振动层和所述压力室部件彼此接合，以使得所述压力室的容积与所述振动层的位移相应地变化，并且与所述压力室的容积的变化相应地排出所述压力室内的墨水，

所述第1电极具备仅具有（001）取向的Na_xM_1-x层，

所述压电体层是仅具有（001）取向的(1-α)(Bi,Na,Ba)TiO₃―αBiQO₃层，

所述(1-α)(Bi,Na,Ba)TiO₃―αBiQO₃层形成在所述Na_xM_1-x层之上，

M表示Pt、Ir或PtIr，

Q表示Fe、Co、Zn_0.5Ti_0.5或Mg_0.5Ti_0.5，

x表示0.002以上0.02以下的值，而且，α表示0.20以上0.50以下的值。

5.如权利要求4所述的喷墨头，其特征在于：

所述(1-α)(Bi,Na,Ba)TiO₃―αBiQO₃层与所述Na_xM_1-x层接触。

6.如权利要求4所述的喷墨头，其特征在于：

所述(1-α)(Bi,Na,Ba)TiO₃―αBiQO₃层还含有Mn。