[发明专利]工作台装置及输送装置

摘要

工作台装置（100）包括：第1构件（1），其能够在规定面内移动；第2构件（2），其能够相对于第1构件相对移动；第1引导装置（4），其至少一部分配置于第1构件，并以通过第1构件的移动使第2构件沿与同规定面正交的第1轴线平行的方向移动的方式引导第2构件；工作台（10），其支承于第2构件；第3构件（3），其连接于工作台的至少一部分；轴承构件（5），其具有能够向该轴承构件与第3构件之间供给气体的第1供给口，利用从第1供给口供给的气体在该轴承构件与第3构件之间形成气体轴承，并以能够使上述第3构件沿与第1轴线平行的方向移动的方式支承第3构件；以及支承装置（19），其包括平行销（20），并用于支承工作台，该平行销（20）配置为与第1轴线平行，并用于连结第2构件与工作台，工作台借助支承装置支承于第2构件。

主权项

一种工作台装置，其中，该工作台装置包括：第1构件，其能够在规定面内移动；第2构件，其能够相对于上述第1构件相对移动；第1引导装置，其至少一部分配置于上述第1构件，并以通过上述第1构件的移动使上述第2构件沿与同上述规定面正交的第1轴线平行的方向移动的方式引导上述第2构件；工作台，其支承于上述第2构件；第3构件，其连接于上述工作台的至少一部分；轴承构件，其利用向该轴承构件与上述第3构件之间供给的气体在该轴承构件与上述3构件之间形成气体轴承，以能够使上述第3构件沿与上述第1轴线平行的方向移动的方式支承上述第3构件；以及支承装置，其包括平行销，并用于支承上述工作台，该平行销配置为与上述第1轴线平行，并用于连结上述第2构件与上述工作台，上述工作台借助上述支承装置支承于上述第2构件。