[实用新型]一种碳化硅抛光片应力自动检测装置有效
| 申请号： | 201320864481.1 | 申请日： | 2013-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN203658240U | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 宁敏;郭敏;高玉强 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/00 | 分类号： | G01N21/00 |
| 代理公司： | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻 |
| 地址： | 250000 山东省济南市历下区*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种碳化硅抛光片应力自动检测装置，通过位移传感器以实现摄像头的360°旋转，将图像采集装置与应力仪主体结合在一起，摄像头采集的图像通过数据线传输到电脑，以便保存应力图像进一步分析。本实用新型方便实用，全程可单人操作完成，省时省力；操作简单，整个过程能够通过可视化软件界面在电脑上操作完成，当待检测晶棒数量较多时，将大大提高检测效率；可以实现摄像头的360度旋转，拍摄角度精确定位，保证图像采集的准确性，进一步提高应力检测的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 抛光 应力 自动检测 装置 | ||
【主权项】：
一种碳化硅抛光片应力自动检测装置，包括基座（1），基座（1）内设置有光源（2），基座（1）上设置有检测台（5），检测台（5）下方设置有起偏镜（4），其特征在于：所述基座（1）一侧固定有立柱Ⅰ（14），立柱Ⅰ（14）上端连接有支撑臂Ⅰ（6），支撑臂Ⅰ（6）末端设置有检偏镜（7），所述立柱Ⅰ（14）轴连接立柱Ⅱ（13），立柱Ⅱ（13）上端连接有支撑臂Ⅱ（9），支撑臂Ⅱ（9）末端通过铰链连接有摄像头（8），所述摄像头（8）通过数据线（10）与电脑（11）连接，所述电脑（11）通过位移传感器（12）与立柱Ⅱ（13）和摄像头（8）电连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山东天岳先进材料科技有限公司，未经山东天岳先进材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320864481.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
