[实用新型]一种碳化硅抛光片应力自动检测装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种应力检测装置，具体涉及一种碳化硅抛光片应力检测装置。

背景技术

碳化硅单晶在生长的过程中，由于单晶炉内非均匀的温度场，会在晶体内部产生热应力；同时，生长出来的碳化硅单晶在经过后续的机械加工切、磨、抛生产晶片的过程中，又会引入加工应力。因此，应力分析成为碳化硅单晶片质量分析的重要依据。

现在市场上所售的晶片应力检测仪大多为手动操作，只能通过肉眼观察，无法保存应力图像，不便于品质分析。即便现在已经有人提出在原有应力检测仪的基础上安装CCD摄像头，但要获得清晰且准确的应力图像，仍需要手动调焦，这对于大批量检测来说相当费时费力。

发明内容

针对上述不足之处，本实用新型提供了一种碳化硅抛光片应力自动检测装置，方便实用，省时省力，解决了现有技术中无法保存图像、费时费力的问题。

本实用新型的具体技术方案是：

一种碳化硅抛光片应力自动检测装置，包括基座，基座内设置有光源，基座上设置有检测台，检测台下方设置有起偏镜，所述基座一侧固定有立柱Ⅰ，立柱Ⅰ上端连接有支撑臂Ⅰ，支撑臂Ⅰ末端设置有检偏镜，所述立柱Ⅰ轴连接立柱Ⅱ，立柱Ⅱ上端连接有支撑臂Ⅱ，支撑臂Ⅱ末端通过铰链连接有摄像头，所述摄像头通过数据线与电脑连接，所述电脑通过位移传感器与立柱Ⅱ和摄像头电连接。

所述立柱Ⅰ轴连接立柱Ⅱ，使得立柱Ⅱ以轴为中心实现360度旋转；立柱Ⅱ上端连接有支撑臂Ⅱ，支撑臂Ⅱ末端通过铰链连接有摄像头，摄像头以铰链为中心实现180度旋转，这样电脑通过位移传感器实现摄像头的旋转，选择合适的拍摄角度精确定位，保证图像采集的准确性，进一步提高应力检测的准确性。

为了使得光源比较均匀，所述起偏镜下方设置有均光板。

所述摄像头为CCD摄像头，能够实现自动对焦，在起偏镜和检偏镜的相互作用下呈现碳化硅抛光片样品的应力图像。

采用这样的结构，测试碳化硅抛光片的应力时，将碳化硅抛光片样品放置在检测台上，光源发出的光依次通过均光板、起偏镜、样品、检偏镜，通过电脑中可视化软件上的控制按钮，通过位移传感器以实现立柱Ⅱ和摄像头的转动，所述CCD摄像头能够实现自动对焦，以保证光源、均光板、起偏镜、样品、检偏镜和摄像头的中心在一条直线上，在在起偏镜和检偏镜的相互作用下呈现碳化硅抛光片样品的应力图像，从而获得清晰且准确的应力图像，并能够把应力图像保存在电脑上，从而便于进行分析；尤其当待检测晶棒数量较多时，将大大提高检测效率。

本实用新型方便实用，全程可单人操作完成，省时省力；操作简单，整个过程能够通过可视化软件界面在电脑上操作完成，当待检测晶棒数量较多时，将大大提高检测效率；可以实现摄像头的360度旋转，拍摄角度精确定位，保证图像采集的准确性，进一步提高应力检测的准确性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中1是基座，2是光源，3是均光板，4是起偏镜，5是检测台，6是支撑臂Ⅰ，7是检偏镜，8是摄像头，9是支撑臂Ⅱ，10是数据线，11是电脑，12是位移传感器，13是立柱Ⅱ，14是立柱Ⅰ。

具体实施方式

一种碳化硅抛光片应力自动检测装置，包括基座1，基座1内设置有光源2，基座1上设置有检测台5，检测台5下方设置有起偏镜4，所述基座1一侧固定有立柱Ⅰ14，立柱Ⅰ14上端连接有支撑臂Ⅰ6，支撑臂Ⅰ6末端设置有检偏镜7，所述立柱Ⅰ14轴连接立柱Ⅱ13，立柱Ⅱ13上端连接有支撑臂Ⅱ9，支撑臂Ⅱ9末端通过铰链连接有摄像头8，所述摄像头8通过数据线10与电脑11连接，所述电脑11通过位移传感器12与立柱Ⅱ13和摄像头8电连接。

为了使得光源比较均匀，所述起偏镜4下方设置有均光板3。

所述摄像头8为CCD摄像头，能够实现自动对焦，在起偏镜4和检偏镜7的相互作用下呈现碳化硅抛光片样品的应力图像。

采用这样的结构，测试碳化硅抛光片的应力时，将碳化硅抛光片样品放置在检测台5上，光源2发出的光依次通过均光板3、起偏镜4、样品、检偏镜7，通过电脑11中可视化软件上的控制按钮，使得立柱Ⅱ13以轴为中心实现360度旋转；立柱Ⅱ13上端连接有支撑臂Ⅱ9，支撑臂Ⅱ9末端通过铰链连接有摄像头8，摄像头8以铰链为中心实现180度旋转，这样电脑11通过位移传感器12实现摄像头8的旋转，选择合适的拍摄角度精确定位，保证图像采集的准确性，进一步提高应力检测的准确性。

所述CCD摄像头8能够实现自动对焦，以保证光源2、均光板3、起偏镜4、样品、检偏镜7和摄像头8的中心在一条直线上，在起偏镜4和检偏镜7的相互作用下呈现碳化硅抛光片样品的应力图像，从而获得清晰且准确的应力图像，并能够把应力图像保存在电脑11上，从而便于进行分析；尤其当待检测晶棒数量较多时，将大大提高检测效率。