[实用新型]具有自动清洗功能的晶圆平坦区排列装置

摘要

本实用新型公开一种具有自动清洗功能的晶圆平坦区排列装置，包括喷射装置、干燥装置、引导盘和控制装置；喷射装置设置在转动轴的下方位置，干燥装置设置在喷射装置的下方位置，引导盘设置在喷射装置与干燥装置之间；在主体一侧靠近地面处设置有排放软管；喷射装置与供应软管联通，喷射装置上表面垂直方向开设有多个向转动轴喷射清洗物的喷射口；干燥装置包括本体、换气扇和加热卷；控制装置包括用于设置作业时间从而对喷射装置和干燥装置进行作业控制的定时器和在清洗干燥完成后会报警提醒的报警器，驱动马达、喷射装置和干燥装置与控制装置点连接。在转动轴对晶圆进行排列前，对转动轴进行清洗并烘干后再对晶圆进行排列，从而提升产品良率。

主权项

一种具有自动清洗功能的晶圆平坦区排列装置，包括主体（100）和安装在主体（100）里受驱动马达（130）驱动旋转推动晶圆排列的转动轴（110），其特征在于，还包括喷射装置（210）、干燥装置（300）、引导盘（250）和控制装置（500）；喷射装置（210）设置在转动轴（110）的下方位置，干燥装置（300）设置在喷射装置（210）的下方位置，引导盘（250）设置在喷射装置（210）与干燥装置（300）之间；在主体（100）一侧靠近地面处设置有排放软管（170）；喷射装置（210）与供应软管（220）联通，喷射装置（210）上表面垂直方向开设有多个向转动轴（110）喷射清洗物的喷射口（211）；干燥装置（300）包括本体（301）、通过开在主体（100）一侧的外气口（350）强制引入外部空气的换气扇(310)和用于加热引入空气的加热卷（320）；控制装置（500）包括用于设置作业时间从而对喷射装置（210）和干燥装置（300）进行作业控制的定时器（510）和在清洗干燥完成后会报警提醒的报警器（520），驱动马达（130）、喷射装置（210）和干燥装置（300）与控制装置（500）点连接。