[实用新型]具有自动清洗功能的晶圆平坦区排列装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种具有自动清洗功能的晶圆平坦区排列装置，属于晶圆清洁装置技术领域。

背景技术

当前的晶圆平坦区自动排列装置构造主要是由有可承载多片晶圆排列的传送器及和传送器相连的主体构成。主体里有至少一个和多片晶圆弧度相接触的转动轴，并且转动轴是从外部接收动力旋转，晶圆圆弧部位和转动轴先接触不断进行回转，转动到平坦区的某个部位后停止转动并进行排列，随之，多片晶圆从传送器出来，按相同方向进行排列。

但是，按上述过程，晶圆在反复多次和转动轴接触后，晶圆圆弧部位和接触的转动轴间会产生一些异物，这种异物是造成晶圆圆弧部位污染的主要原因。而且已出现异物的转动轴在和其他需排列的晶圆接触时，其他晶圆圆弧部位也会被污染，受污染的晶圆会造成产品良率下降，引发产品不良问题。

发明内容

针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种具有自动清洗功能的晶圆平坦区排列装置，在转动轴对晶圆进行排列前，对转动轴进行清洗并烘干后再对晶圆进行排列，从而提升产品良率。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种具有自动清洗功能的晶圆平坦区排列装置，包括主体和安装在主体里受驱动马达驱动旋转推动晶圆排列的转动轴，还包括喷射装置、干燥装置、引导盘和控制装置；

喷射装置设置在转动轴的下方位置，干燥装置设置在喷射装置的下方位置，引导盘设置在喷射装置与干燥装置之间；在主体一侧靠近地面处设置有排放软管；

喷射装置与供应软管联通，喷射装置上表面垂直方向开设有多个向转动轴喷射清洗物的喷射口；

干燥装置包括本体、通过开在主体一侧的外气口强制引入外部空气的换气扇和用于加热引入空气的加热卷；

控制装置包括用于设置作业时间从而对喷射装置和干燥装置进行作业控制的定时器和在清洗干燥完成后会报警提醒的报警器，驱动马达、喷射装置和干燥装置与控制装置点连接。

进一步的，引导盘中间位置高度高于两边的高度，呈三角形状。

进一步的，还包括滤芯，滤芯设置在换气扇和外气口之间。

本实用新型的有益效果是：在转动轴下方一次设有喷射装置和干燥装置，由控制装置控制喷射装置和干燥装置工作，在转动轴对晶圆进行排列前，先对转动轴进行清洗并烘干，然后再对晶圆进行排列，以此保证转动轴和晶圆圆弧部位接触时没有异物，从而提升产品良率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型Ⅰ-Ⅰ向剖视图；

图3为本实用新型Ⅱ-Ⅱ向剖视图；

图4为本实用新型电原理框图。

图中：100、主体，110、转动轴，130、驱动马达，170、排放软管，210、喷射装置，211、喷射口，220、供应软管，250、引导盘，300、干燥装置，301、本体，310、换气扇，320、加热卷，330、滤芯，350、外气口，500、控制装置，510、定时器，520、报警器。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图1至图3所示，本具有自动清洗功能的晶圆平坦区排列装置，包括主体100和安装在主体100里受驱动马达130驱动旋转推动晶圆排列的转动轴110，还包括喷射装置210、干燥装置300、引导盘250和控制装置500；喷射装置210设置在转动轴110的下方位置，干燥装置300设置在喷射装置210的下方位置，引导盘250设置在喷射装置210与干燥装置300之间；在主体100一侧靠近地面处设置有排放软管170；喷射装置210与供应软管220联通，喷射装置210上表面垂直方向开设有多个向转动轴110喷射清洗物的喷射口211；干燥装置300包括本体301、通过开在主体100一侧的外气口350强制引入外部空气的换气扇310和用于加热引入空气的加热卷320；如图4所示，控制装置500包括用于设置作业时间从而对喷射装置210和干燥装置300进行作业控制的定时器510和在清洗干燥完成后会报警提醒的报警器520，驱动马达130、喷射装置210和干燥装置300与控制装置500点连接。

为了实现对转动轴110的清洗，在定时器510中设定喷射装置210和干燥装置300的作业时间，启动本实用新型，这时，控制装置500会先向驱动马达130发送驱动信号，转动转动轴110同时启动喷射装置210。