[实用新型]一种用于硅片扩散和氧化的石英舟

摘要

本实用新型公开了一种用于硅片扩散和氧化的石英舟，包括左支撑板和右支撑板，左支撑板和右支撑板之间设有支撑柱和限位柱，支撑柱和限位柱的内侧面均平行设置有复数个卡槽，所述卡槽与相邻卡槽位于同一平面且相互配合，形成硅片承载槽；所述支撑柱和限位柱上的卡槽均为V型卡槽。本实用新型通过设置V型卡槽，改变了硅片与石英舟的接触方式，仅使硅片的侧边与石英舟线接触，而硅片的表面不与石英舟面接触，从而解决了在扩散过程中因硅片表面与石英舟相接触而造成的掺杂浓度、磷硅玻璃层和氧化层的不均匀性问题。

主权项

一种用于硅片扩散和氧化的石英舟，包括左支撑板(1)和右支撑板(2)，左支撑板和右支撑板之间设有支撑柱(3)和限位柱(4)，支撑柱和限位柱的内侧面均平行设置有复数个卡槽(5)，所述卡槽与相邻卡槽位于同一平面且相互配合，形成硅片承载槽；其特征在于：所述支撑柱和限位柱上的卡槽均为V型卡槽。