[实用新型]一种用于硅片扩散和氧化的石英舟

权利要求书

1.一种用于硅片扩散和氧化的石英舟，包括左支撑板(1)和右支撑板(2)，左支撑板和右支撑板之间设有支撑柱(3)和限位柱(4)，支撑柱和限位柱的内侧面均平行设置有复数个卡槽(5)，所述卡槽与相邻卡槽位于同一平面且相互配合，形成硅片承载槽；其特征在于：所述支撑柱和限位柱上的卡槽均为V型卡槽。

2.根据权利要求1所述的用于硅片扩散和氧化的石英舟，其特征在于：所述支撑柱上的卡槽的开口夹角为75~120度，槽深为1~1.5 mm。

3.根据权利要求1所述的用于硅片扩散和氧化的石英舟，其特征在于：所述限位柱有2根，对称设于左支撑板和右支撑板之间，两者之间的距离比所载硅片的边长短2 mm；限位柱上的卡槽的开口夹角为45~75度，槽深为2~3 mm。