[实用新型]一种氮化硅研磨装置有效
| 申请号： | 201320812148.6 | 申请日： | 2013-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN203577935U | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 丁宁;杜永斌 | 申请（专利权）人： | 天津英利新能源有限公司 |
| 主分类号： | B02C19/00 | 分类号： | B02C19/00;B02C23/12 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波 |
| 地址： | 301510 天津市滨海新区津汉公*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氮化硅研磨装置，该氮化硅研磨装置包括动力元件、研磨元件和收集器，其中，动力元件输出旋转运动，研磨元件与动力元件的输出端连接，收集器用于盛放待研磨氮化硅，研磨元件的研磨面朝向收集器；在氮化硅研磨时，启动动力元件并驱动研磨元件随动力元件的输出端转动，从而实现收集器内的氮化硅的研磨；这样，通过机械设备实现氮化硅的研磨，从而提高了研磨效率和研磨均匀性，并且降低了操作人员的劳动强度，保证了员工的身体健康。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 研磨 装置 | ||
【主权项】：
一种氮化硅研磨装置，其特征在于，包括输出旋转运动的动力元件和盛放待研磨氮化硅的收集器（1），所述动力元件的输出端连接有研磨元件（5），所述研磨元件（5）的研磨面朝向所述收集器（1）。
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