[实用新型]一种炉口密封装置有效
| 申请号： | 201320801087.3 | 申请日： | 2013-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN203672137U | 公开（公告）日： | 2014-06-25 |
| 发明（设计）人： | 周厉颖;王丽荣;孙少东 | 申请（专利权）人： | 北京七星华创电子股份有限公司 |
| 主分类号： | F27D1/18 | 分类号： | F27D1/18 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 孟宪功 |
| 地址： | 100015 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种半导体立式热处理设备，具体涉及了一种炉口密封装置。该炉口密封装置包括底板和依次连接的第一侧板、第二侧板和第三侧板，第一侧板、第二侧板和第三侧板的一边与底板密封连接，另一边与炉体的炉口密封连接，第一侧板包括第一侧边，第三侧板包括第二侧边，第一侧边和第二侧边分别通过连接块与主机箱密封连接，底板与主机箱密封连接，在第一侧板、第二侧板和第三侧板中的至少一个上设有通孔，底板上设有圆孔。该炉口密封装置能满足密封要求，避免工艺过程中有外界气体渗入微环境中，从而控制微环境中特定气体浓度上限（如氧含量），并实现炉口区域热量及泄露气体的排放，简化了安装固定结构，便于装卸，有较好的可维护性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 密封 装置 | ||
【主权项】：
一种炉口密封装置，其特征在于，包括底板和依次连接的第一侧板（201）、第二侧板（202）和第三侧板（203），所述第一侧板（201）、第二侧板（202）和第三侧板（203）的一边与所述底板（5）密封连接，另一边与炉体（10）的炉口密封连接，所述第一侧板（201）包括第一侧边（204），所述第三侧板（203）包括第二侧边（205），所述第一侧边（204）和第二侧边（205）分别通过连接块（6）与主机箱（8）密封连接，所述底板（5）与所述主机箱（8）密封连接，在所述第一侧板（201）、第二侧板（202）和第三侧板（203）中的至少一个上设有通孔（21），所述底板（5）上设有圆孔（51）。
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