[实用新型]一种炉口密封装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体立式热处理设备，特别是涉及一种炉口区域密封装置。

背景技术

在半导体立式热处理设备中，主机箱的主要作用是在工艺前后进行硅片的取放和存储，这个过程要求在惰性气体（如氮气或氩气）环境中完成，因此保证微环境内部环境的洁净度及控制特定气体浓度上限（如氧含量）至关重要。另外，在炉口区域处包含多路工艺气体进出管路，一旦有工艺气体泄露，将直接进入微环境中，破坏微环境的洁净度，从而影响产品质量。此外，在工艺过程结束、炉口打开时，会有大量热量向外溢出到微环境中，引起微环境内部温度上升，而微环境内部分元器件材料有一定的耐温温度，一旦超出材料的耐温温度，将会导致材料变性、挥发或产生颗粒，从而影响产品质量。因此，炉口密封装置需要有很好的密封性才能有效控制微环境内部特定气体浓度（如氧含量），并实现炉口区域热量及泄露气体的排放。

由于炉口密封装置所处的位置会影响工艺管的拆装，在做设备维护时需经常进行拆卸，因此需要炉口密封装置便于安装和拆卸。常规的炉体密封装置为了满足密封性能的要求，往往安装固定结构做得较复杂，不便于安装和拆卸，同时加工制作难度也较大，加工成本高，可维护性差。

实用新型内容

（一）要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是提供一种便于安装和拆卸的炉口密封装置，可以满足密封性能要求，避免在工艺过程中有外界气体进入微环境中，从而控制微环境中的洁净度及特定气体浓度上限（如氧含量），并实现炉口区域热量及泄露气体的排放。

（二）技术方案

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种炉口密封装置，包括底板和依次连接的第一侧板、第二侧板和第三侧板，所述第一侧板、第二侧板和第三侧板的一边与所述底板密封连接，另一边与炉体的炉口密封连接，所述第一侧板包括第一侧边，所述第三侧板包括第二侧边，所述第一侧边和第二侧边分别通过连接块与主机箱密封连接，所述底板与所述主机箱密封连接，在所述第一侧板、第二侧板和第三侧板中的至少一个上设有通孔，所述底板上设有圆孔。

其中，所述第一侧边和第二侧边的一侧均连接有第一密封垫挡条，另一侧均连接有第二密封垫挡条，所述第一密封垫挡条与所述连接块连接，所述第二密封垫挡条与所述主机箱密封连接。

其中，所述连接块为几字形，所述连接块的两翼分别设置有安装孔，所述连接块通过所述安装孔分别与所述主机箱和第一密封垫挡条连接。

其中，所述底板为四边形，其中的三个边分别与所述第一侧板、第二侧板和第三侧板密封连接，另一条边与所述主机箱密封连接。

其中，所述第一侧板、第二侧板和第三侧板通过第三密封垫挡条与所述底板密封连接。

其中，所述第三密封垫挡条上设有第二密封垫，所述第一侧板、第二侧板和第三侧板的一边向一侧弯折，另一边设有刀边压条，所述刀边压条通过所述第二密封垫与所述底板密封连接。

其中，所述圆孔连接有密封压圈。

其中，所述圆孔的周围设有螺柱，通过螺母和所述螺柱的配合将所述底板与所述密封压圈连接，所述圆孔通过所述密封压圈与工艺管的基底连接。

其中，所述通孔连接有排气管道。

其中，所述排气管道的一侧连接第一法兰，另一侧连接第二法兰，所述第一法兰与所述通孔连接，所述第二法兰与所述主机箱连接。

（三）有益效果

本实用新型的上述技术方案具有以下有益效果：本实用新型的炉口密封装置包括底板和依次连接的第一侧板、第二侧板和第三侧板，第一侧板、第二侧板和第三侧板的一边与底板密封连接，另一边与炉体的炉口密封连接，第一侧板包括第一侧边，第三侧板包括第二侧边，第一侧边和第二侧边分别通过连接块与主机箱密封连接，底板与主机箱密封连接，在第一侧板、第二侧板和第三侧板中的至少一个上设有通孔，与排气管道连接时，可以将出舟过程中的大量热量通过排气管道排出，底板上设有圆孔，与工艺管的基底可以密封连接，以确保该炉口密封装置将微环境与外界环境直接密封隔离。本实用新型的炉口密封装置可以满足密封要求，有效避免在工艺过程中有外界气体进入微环境中，从而控制微环境中的洁净度及特定气体浓度上限（如氧含量），并实现炉口区域热量及泄露气体的排放，同时极大地简化了安装固定结构，便于进行频繁的安装和拆卸，降低了加工制作难度及加工成本，具有较好的可维护性。

附图说明

图1为本实用新型实施例的炉口密封装置的轴测视图；

图2为本实用新型实施例的炉口密封装置A处的局部放大视图；