[实用新型]一种氮气保护四探针测试仪

摘要

一种氮气保护四探针测试仪，包括：主控计算机、壳体、以及安装于壳体内的摄像头、真空吸片台、四探针组件、用于驱动四探针组件下端的四探针探头二维移动和下压的三轴驱动机构，四探针组件安装在三轴驱动机构上，摄像头的拍摄方向正对真空吸片台，四探针组件位于真空吸片台的上方，摄像头和四探针组件的信号输出端与主控计算机的信号输入端电性连接，三轴驱动机构的控制信号输入端与主控计算机的控制信号输出端电性连接，其中，所述壳体上方开有氮气通入口。通过上述方式，本实用新型形成了样品的无氧测试环境，具备了碎片自动测试能力，并且为边界误差自动修正提供了硬件基础。

主权项

一种氮气保护四探针测试仪，其特征在于，包括：主控计算机、壳体、以及安装于所述壳体内的摄像头、真空吸片台、四探针组件、用于驱动所述四探针组件下端的四探针探头二维移动和下压的三轴驱动机构，所述四探针组件安装在所述三轴驱动机构上，所述摄像头的拍摄方向正对所述真空吸片台，所述四探针组件位于所述真空吸片台的上方，所述摄像头和所述四探针组件的信号输出端与所述主控计算机的信号输入端电性连接，所述三轴驱动机构的控制信号输入端与所述主控计算机的控制信号输出端电性连接，其中，所述壳体上方开有氮气通入口。