[实用新型]一种氮气保护四探针测试仪有效
| 申请号： | 201320760619.3 | 申请日： | 2013-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN203732627U | 公开（公告）日： | 2014-07-23 |
| 发明（设计）人： | 邓洁;苏波泳;王强;虞铮栋 | 申请（专利权）人： | 南通大学 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 北京瑞思知识产权代理事务所(普通合伙) 11341 | 代理人： | 李涛 |
| 地址： | 226019 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氮气 保护 探针 测试仪 | ||
【权利要求书】：
1.一种氮气保护四探针测试仪，其特征在于，包括：主控计算机、壳体、以及安装于所述壳体内的摄像头、真空吸片台、四探针组件、用于驱动所述四探针组件下端的四探针探头二维移动和下压的三轴驱动机构，所述四探针组件安装在所述三轴驱动机构上，所述摄像头的拍摄方向正对所述真空吸片台，所述四探针组件位于所述真空吸片台的上方，所述摄像头和所述四探针组件的信号输出端与所述主控计算机的信号输入端电性连接，所述三轴驱动机构的控制信号输入端与所述主控计算机的控制信号输出端电性连接，其中，所述壳体上方开有氮气通入口。
2.根据权利要求1所述的氮气保护四探针测试仪，其特征在于：所述真空吸片台的下端设有真空抽气口，所述真空抽气口与抽真空设备相连接。
3.根据权利要求1或2所述的氮气保护四探针测试仪，其特征在于：所述三轴驱动机构为三轴步进电机。
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