[实用新型]一种基于矢量曲线路径的象元可变角度的曲线光刻加工装置有效
| 申请号： | 201320759400.1 | 申请日： | 2013-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN203616578U | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 黄斗兴;马辉;凌夏冰;滕晓辉 | 申请（专利权）人： | 上海宏盾防伪材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海三方专利事务所 31127 | 代理人： | 吴干权;朱志祥 |
| 地址： | 201210 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于矢量曲线路径的象元可变角度的曲线光刻加工装置，包括光源、第一光学镜头组、可变象元、分光器件、可变光阑、第二光学镜头组、移动平台和驱动装置，其特征在于所述的移动平台上设有曝光装置，所述的曝光装置由光源、第一光学镜头组、可变象元、分光器件、可变光阑和第二光学镜头组自上至下排列组成，所述的驱动装置包括两个驱动电机，第一驱动电机连接可变象元，第二驱动电机连接移动平台。通过本实用新型的实施，可以对任意形状曲线进行刻蚀，在曲线路径上有规律的象元分布，并且有光滑的线形、较高的刻蚀效率和精确度等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 矢量 曲线 路径 可变 角度 光刻 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种基于矢量曲线路径的象元可变角度的曲线光刻加工装置，包括光源、第一光学镜头组、可变象元、分光器件、可变光阑、第二光学镜头组、移动平台和驱动装置，其特征在于所述的移动平台上设有曝光装置，所述的曝光装置由光源、第一光学镜头组、可变象元、分光器件、可变光阑和第二光学镜头组自上至下排列组成，所述的驱动装置包括两个驱动电机，第一驱动电机连接可变象元，第二驱动电机连接移动平台。
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