[实用新型]一种基于矢量曲线路径的象元可变角度的曲线光刻加工装置

权利要求书

1.一种基于矢量曲线路径的象元可变角度的曲线光刻加工装置，包括光源、第一光学镜头组、可变象元、分光器件、可变光阑、第二光学镜头组、移动平台和驱动装置，其特征在于所述的移动平台上设有曝光装置，所述的曝光装置由光源、第一光学镜头组、可变象元、分光器件、可变光阑和第二光学镜头组自上至下排列组成，所述的驱动装置包括两个驱动电机，第一驱动电机连接可变象元，第二驱动电机连接移动平台。

2.如权利要求1所述的一种基于矢量曲线路径的象元可变角度的曲线光刻加工装置，其特征在于所述的分光器件为空间调制器。

3.如权利要求1所述的一种基于矢量曲线路径的象元可变角度的曲线光刻加工装置，其特征在于所述的所述可变象元是个空间光象元调制器，第一驱动电机带动控制空间光象元调制器象元角度变化。

4.如权利要求1所述的一种基于矢量曲线路径的象元可变角度的曲线光刻加工装置，其特征在于所述的第一光学镜头组和第二光学镜头组组成一个缩放的只能紫外光透过的投影光学镜头组。

5.如权利要求1所述的一种基于矢量曲线路径的象元可变角度的曲线光刻加工装置，其特征在于所述的可变光阑由一组孔径可调的通孔装置组成。

6.如权利要求1所述的一种基于矢量曲线路径的象元可变角度的曲线光刻加工装置，其特征在于所述的第二驱动电机驱动整个曲线光刻加工装置旋转运动。

7.如权利要求1所述的一种基于矢量曲线路径的象元可变角度的曲线光刻加工装置，其特征在于所述可变象元是个空间光象元调制器，形状为正方形或圆形，包括各种字体和图形、数字微镜。

8.如权利要求1所述的一种基于矢量曲线路径的象元可变角度的曲线光刻加工装置，其特征在于所述第一光学镜头组和第二光学镜头组组成一个缩放的只能紫外光透过的投影光学镜头组，光学镜头组的缩放倍数为10倍-20倍。

9.如权利要求1所述的一种基于矢量曲线路径的象元可变角度的曲线光刻加工装置，其特征在于：可变光栅通过手动变换不同空间频率的光栅器件；可变光阑通过手动调节光阑的孔径。